[发明专利]用于光刻照明系统光瞳测量的傅里叶变换物镜有效
| 申请号： | 201410129663.3 | 申请日： | 2014-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN103926677A | 公开（公告）日： | 2014-07-16 |
| 发明（设计）人： | 蔡燕民;王向朝;唐锋 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G02B13/00 | 分类号： | G02B13/00;G02B1/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 光刻 照明 系统 测量 傅里叶变换 物镜 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于光刻照明系统光瞳测量的傅里叶变换物镜，沿其光轴方向依次包括孔径光阑、第一透镜、第二透镜、第三透镜、后焦面，其特征在于，孔径光阑中心位于所述的傅里叶变换物镜的前焦点位置而形成像方远心光路，像传感器光敏面位于所述的傅里叶变换物镜的后焦面，即傅里叶变换频谱面，所述的第一透镜、第二透镜具有正光焦度，第三透镜具有负光焦度，所述的第一透镜为凸面朝向孔径光阑面的弯月透镜，第二透镜为双凸透镜，第三透镜为凸面朝向后焦面的弯月透镜。
2.根据权利要求1所述的傅里叶变换物镜，其特征在于，所述的每一透镜的光学表面均为球面。
3.根据权利要求1所述的傅里叶变换物镜，其特征在于，所有三块透镜均采用高透过率的熔石英材料制成。
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