[发明专利]对质谱仪进行真空度测量和控制的方法及设备

说明书

技术领域

本发明涉及质谱仪技术领域，更具体地讲，涉及一种对质谱仪进行真空度测量和控制的方法及设备。

背景技术

质谱仪是用来分离和检测不同同位素的仪器。质谱仪的工作原理为：在真空条件下将样品气化、电离成离子束，经电压加速和聚焦，然后通过磁场电场区，不同质量的离子受到磁场电场的偏转不同，聚焦在不同的位置，从而获得不同同位素的质量谱。因此，质谱仪在工作时，要确保质谱仪的主要器件（例如，检测器等）所在的腔体的真空度在预定范围内，以保证测量准确、主要器件不受损坏等。

发明内容

本发明的目的在于提供一种对质谱仪进行真空度测量和控制的方法及设备，其能够实时测量主要器件所在腔体的真空度并根据测量的腔体的真空度控制质谱仪动作以保护质谱仪的关键器件。

本发明的一方面提供一种对质谱仪进行真空度测量和控制的方法，包括：获取至少一个真空规管测得的腔体的真空度及真空规管内部识别电阻的端电压；根据真空规管内部识别电阻的端电压及真空规管测得的真空度确定该真空规管所测量的腔体的类型；根据各真空规管测得的真空度及所测量的腔体的类型控制质谱仪动作。

可选地，所述腔体的类型包括接口腔体、透镜腔体和检测器腔体，其中，接口腔体是接口所在的腔体、透镜腔体是透镜所在的腔体、检测器腔体是检测器所在的腔体。

可选地，根据各真空规管测得的真空度及所测量的腔体的类型控制质谱仪动作的步骤包括：根据各真空规管测得的真空度及所测量的腔体的类型控制阀门、透镜、检测器中的至少一个的关闭和/或开启，其中，所述阀门是位于接口腔体与透镜腔体之间的阀门。

可选地，根据各真空规管测得的真空度及所测量的腔体的类型控制阀门、透镜、检测器中的至少一个的关闭和/或开启的步骤包括：当任意一真空规管测得的真空度大于所测量的腔体的类型对应的第一真空度阈值时，控制阀门关闭。

可选地，根据各真空规管测得的真空度及所测量的腔体的类型控制阀门、透镜、检测器中的至少一个的关闭和/或开启的步骤包括：当接收到用户开启阀门的操作时，确定各真空规管测得的真空度是否都小于所测量的腔体的类型对应的第二真空度阈值；当确定各真空规管测得的真空度都小于所测量的腔体的类型对应的第二真空度阈值时，控制阀门开启。

可选地，根据各真空规管测得的真空度及所测量的腔体的类型控制阀门、透镜、检测器中的至少一个的关闭和/或开启的步骤包括：当任意一真空规管测得的真空度大于所测量的腔体的类型对应的第三真空度阈值时，控制透镜和/或检测器关闭。

可选地，根据各真空规管测得的真空度及所测量的腔体的类型控制阀门、透镜、检测器中的至少一个的关闭和/或开启的步骤包括：当接收到用户开启透镜和/或检测器的操作时，确定各真空规管测得的真空度是否都小于所测量的腔体的类型对应的第四真空度阈值；当确定各真空规管测得的真空度都小于所测量的腔体的类型对应的第四真空度阈值时，控制透镜和/或检测器开启。

可选地，所述的方法还包括：根据真空规管内部识别电阻的端电压确定该真空规管的类型；根据低真空规管测得的真空度控制高真空规管开启。

本发明的另一方面提供一种对质谱仪进行真空度测量和控制的设备，包括：获取单元，获取至少一个真空规管测得的腔体的真空度及真空规管内部识别电阻的端电压；腔体类型确定单元，根据真空规管内部识别电阻的端电压及真空规管测得的真空度确定该真空规管所测量的腔体的类型；控制单元，根据各真空规管测得的真空度及所测量的腔体的类型控制质谱仪动作。

可选地，所述腔体的类型包括接口腔体、透镜腔体和检测器腔体，其中，接口腔体是接口所在的腔体、透镜腔体是透镜所在的腔体、检测器腔体是检测器所在的腔体。

可选地，控制单元根据各真空规管测得的真空度及所测量的腔体的类型控制阀门、透镜、检测器中的至少一个的关闭和/或开启，其中，所述阀门是位于接口腔体与透镜腔体之间的阀门。

可选地，控制单元包括：阀门关闭控制单元，当任意一真空规管测得的真空度大于所测量的腔体的类型对应的第一真空度阈值时，控制阀门关闭。

可选地，控制单元包括：第一确定单元，当接收到用户开启阀门的操作时，确定各真空规管测得的真空度是否都小于所测量的腔体的类型对应的第二真空度阈值；阀门开启控制单元，当确定各真空规管测得的真空度都小于所测量的腔体的类型对应的第二真空度阈值时，控制阀门开启。

可选地，控制单元包括：器件关闭控制单元，当任意一真空规管测得的真空度大于所测量的腔体的类型对应的第三真空度阈值时，控制透镜和/或检测器关闭。