[发明专利]双面电极太阳能电池的制备方法

权利要求书

1.一种双面电极太阳能电池的制备方法，其特征在于，包括步骤：

S101：提供P型硅基板；

S102：在硅基板上层形成氧化层；

S103：保留硅基板上部分氧化层、并刻蚀其他部位的氧化层，保留的氧化层作为硅基板上层的正电极通道；

S104：在硅基板表面扩散一N层，形成PN结；

S105：去除硅基板上保留的氧化层，并在硅基板上层印刷金属电极，所述金属电极包括正电极和顶电极；

S106：在硅基板下层形成底电极，形成双面电极太阳能电池。

2.根据权利要求1所述的双面电极太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述步骤S101中，将所述硅基板上下层表面制作绒面。

3.根据权利要求1所述的双面电极太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述氧化层材料的掺杂浓度高于所述P型硅基板的掺杂浓度。

4.根据权利要求1所述的双面电极太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述步骤S104具体包括：将上下两面均有绒面结构的硅基板放置入扩散炉中进行扩散，扩散源采用液态POCl₃，形成包覆所述硅基板的扩散层，扩散出的PN结其结深在200～500微米之间。

5.根据权利要求4所述的双面电极太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述步骤S104中，先对硅基板正反面中的一面进行扩散，之后将硅基板翻转180度，对硅基板的另一面进行扩散。

6.根据权利要求1所述的双面电极太阳能电池的制备方法，其特征在于，步骤S105前还包括步骤：去除硅基板表面的磷硅玻璃，之后，在硅基板上、下层进行钝化并镀减反射膜。

7.根据权利要求6所述的双面电极太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述减反射膜为Si₃N₄膜。

8.根据权利要求1所述的双面电极太阳能电池的制备方法，其特征在于，步骤S105和步骤S106中，所述正电极和顶电极为银电极，底电极为铝电极。

9.根据权利要求8所述的一种双面电极太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述银电极的印刷方法为：丝网印刷的方法。

10.根据权利要求8所述的双面电极太阳能电池的制备方法，其特征在于，硅基板的下层整面印刷有铝电极。