[发明专利]磁传感器测试装置和方法

说明书

提供一种磁传感器测试装置和磁传感器测试方法。该磁传感器测试装置包括被配置成产生磁场的垂直线圈和至少一个外围线圈。磁传感器测试装置和方法可以测试半导体晶片上的磁传感器。

相关申请的交叉引用

本申请根据35USC119（a）主张2013年8月8日在韩国知识产权局提交的韩国专利申请第10-2013-0094134号的权利，在此引入其全部公开内容作为参考以用于所有目的。

技术领域

以下描述涉及一种用于测试磁传感器的磁传感器测试装置和方法。

背景技术

晶片可以与包括多个芯片的半导体衬底相对应，并且多个芯片可以与磁传感器相对应。通常，磁传感器将多个芯片中的每个芯片分开，从而遵循封装过程，并且在封装之后可以测试每个磁传感器。

磁传感器的相关技术在美国申请第2013-0009659号中公开。美国申请第2013-0009659号可以在探针卡中的多轴处配备线圈，以测试封装状态中的磁传感器。

通常，在封装过程期间或之后，当磁传感器被确定为异常传感器时，用于重制正常磁传感器的成本和时间增加。

发明内容

提供本发明内容以简化形式介绍构思的选择，所述构思会在下面的具体实施方式中进一步描述。本发明内容不旨在标识所要求保护的主题的关键特征或本质特征，也不旨在被用于帮助确定所要求保护的主题的范围。

在一个一般方面中，磁传感器测试装置包括：磁传感器；垂直线圈；以及至少一个外围线圈。

所述磁传感器测试装置可以包括：包括磁传感器的晶片；以及探针卡，并且所述垂直线圈可以被安排在所述晶片之上并且所述至少一个外围线圈可以被对称地安排在所述垂直线圈周围。

所述至少一个外围线圈可以被配置成在所述晶片的水平方向中产生磁场。

所述至少一个外围线圈可以被安排成与所述晶片的表面成锐角。

所述至少一个外围线圈可以包括四个线圈。

所述锐角可以小于90度。

所述四个线圈可以包括：安排在第一轴方向中的一对第一线圈；以及安排在第二轴方向中的一对第二线圈，所述第二轴方向垂直于所述第一轴方向。

所述磁传感器测试装置可以包括被配置成检测从所述磁传感器输出的测试信号的多个探针顶端。

所述至少一个外围线圈可以与所述垂直线圈隔开一定距离。

在另一个一般方面中，一种磁传感器测试方法包括：在垂直方向中产生磁场；以及在水平方向中产生磁场。

所述磁传感器测试方法可以应用于包括多个磁传感器的晶片；在垂直方向中产生磁场可以包括在所述晶片的垂直方向中产生磁场；以及在水平方向中产生磁场可以包括在所述晶片的水平方向中产生磁场。

在垂直方向中产生磁场可以包括将电流施加到垂直线圈以测试磁场的垂直分量的强度。

在水平方向中产生磁场可以包括将电流施加到所述第一和第二线圈对以测试磁场的水平分量的强度，该第一和第二线圈对被安排成与所述晶片的表面成锐角。

分别在垂直方向和水平方向中产生磁场可以包括测试所述多个磁传感器是否正常工作。

在垂直方向中产生磁场和在水平方向中产生磁场的执行顺序可以互不相关。

在另一个一般方面中，一种磁传感器测试装置包括：探针；安排在所述探针的中心的垂直线圈；以及对称地安排在所述垂直线圈周围的两个或更多个外围线圈。

所述磁传感器测试装置可以包括含有磁传感器的晶片。