[发明专利]振动片及其制造方法

说明书

本发明提供一种振动片及其制造方法，所述振动片具有较高的检测灵敏度。振动片具有第一振动模式和第二振动模式，其中，所述第一振动模式为，使第一检测部以及第二检测部以与根据科里奥利力而彼此向相反的方向进行振动的第一驱动部以及第二驱动部相反的相位、且彼此向相反的方向进行弯曲振动的振动模式，所述第二振动模式为，使第一检测部以及第二检测部以与根据科里奥利力而彼此向相反的方向进行振动的第一驱动部以及第二驱动部相同的相位、且彼此向相反的方向进行弯曲振动的振动模式。第二振动模式时的等效串联电阻R2相对于第一振动模式时的等效串联电阻R1的比率r＝R2／R1被设定在0.15～6.0之间。

技术领域

本发明涉及一种振动片及利用了该振动片的陀螺传感器、以及组装有该振动片的电子设备以及移动体等。

背景技术

例如如专利文献1所述，被用于陀螺传感器中的振动片被普遍公知。当在驱动用振动臂上施加有角速度运动时，因科里奥利力的作用而使驱动用振动臂的振动方向发生变化。与科里奥利力相对应地而在特定的方向上产生有新的分力。该分力将引起检测用振动臂的运动。如此，从检测用振动臂输出与分力相对应的输出信号。振动片具有第一振动模式以及第二振动模式。在第一振动模式中，驱动用振动臂根据科里奥利力而在面外方向上以相邻的彼此相互反向的方式进行弯曲振动，且检测用振动臂以与驱动用振动臂相反的相位且相邻的彼此相互反向的方式进行弯曲振动。在第二振动模式中，驱动用振动臂根据科里奥利力而在面外方向上以相邻的彼此相互反向的方式进行弯曲振动，且检测用振动臂以与驱动用振动臂相同的相位且相邻的彼此相互反向的方式进行弯曲振动。

在专利文献1中，在实现检测灵敏度的提高时对第一振动模式的共振频率和第二振动模式的共振频率进行调节。因此，在实现检测灵敏度的提高时要求较高的加工精度和组装精度。因此，存在当加工精度或组装精度恶化时振动片的检测灵敏度将会降低的课题。

专利文献1：日本特开2012-98091号公报

发明内容

根据本发明的至少一个方式，能够提供具有较高的检测灵敏度的振动片。

本发明是为了解决上述的课题中的至少一部分而完成的，并能够作为以下的方式或应用例来实现。

应用例1

本应用例所涉及的振动片的特征在于，具备：第一检测部和第二检测部；第一驱动部和第二驱动部，在如下情况下，所述第二振动模式的等效串联电阻R2相对于所述第一振动模式的等效串联电阻R1的比率r＝R2／R1在0.15～6.0之间，所述情况为，将使所述第一驱动部和所述第二驱动部彼此向相反的方向进行弯曲振动的振动模式设为驱动振动模式、并将包含第一振动和第二振动的振动模式设为第一振动模式，其中，所述第一振动为，在使所述振动片进行旋转时，使所述第一驱动部和所述第二驱动部彼此向相反的方向进行弯曲振动的振动，所述第二振动为，使所述第一检测部和所述第二检测部以与所述第一振动相反的相位且彼此向相反的方向进行弯曲振动的振动、并将包含第三振动和第四振动的振动模式设为第二振动模式，其中，所述第三振动为，在使所述振动片进行旋转时，使所述第一驱动部和所述第二驱动部向彼此相反的方向进行弯曲振动的振动，所述第四振动为，使所述第一检测部和所述第二检测部以与所述第三振动相同的相位且彼此向相反的方向进行弯曲振动的振动的情况。

通过本发明人观察而发现：根据本应用例所涉及的振动片，当等效串联电阻的比率r＝R2／R1在0.15～6.0之间时，能够将角速度的检测灵敏度确保为最大灵敏度的50％以上的灵敏度。

应用例2