[发明专利]高纯、高压制气设备的产品气输出装置

权利要求书

1.一种高纯、高压制气设备的产品气输出装置，包括变压吸附气体分离装置（12），其特征在于：所述的变压吸附气体分离装置（12）经输出管路（15）、背压阀B（18）与产品气缓冲罐（20）连通，所述的产品气缓冲罐（20）经过滤器B（21）连接有背压阀C（23），所述的背压阀C（23）后连接有低压产品气输出装置和中、高压产品气输出装置中的至少一个。

2.如权利要求1所述的高纯、高压制气设备的产品气输出装置，其特征在于：所述的低压产品气输出装置包括经管道与背压阀C（23）连通的阀C（26）；所述的中、高压产品气输出装置包括与背压阀C（23）直接连接的阀D（27）、与阀D（27）连接的产品气增压机（28），在产品气增压机（28）后设置有单向阀C（29）和阀F（31）；在阀F（31）与单向阀C（29）之间，设置管路与阀E（30）连通。

3.如权利要求2所述的高纯、高压制气设备的产品气输出装置，其特征在于：在所述的阀F（31）后设置有纯化装置（32），所述的纯化装置（32）与阀G（33）连通；纯化装置（32）与阀G（33）之间的管路上经阀H（34）连接有中、高压气瓶（35）。

4.如权利要求3所述的高纯、高压制气设备的产品气输出装置，其特征在于：所述的中、高压气瓶（35）经减压回充管路（46）与背压阀B（18）的出口管路连通，所述的减压回充管路（46）上设置有阀I（36）和减压阀A（37）。

5.如权利要求1、2 、3或4所述的高纯、高压制气设备的产品气输出装置，其特征在于：在所述的过滤器B（21）和背压阀C（23）之间设置有产品气纯度分析仪（22）。

6.如权利要求1、2 、3或4所述的高纯、高压制气设备的产品气输出装置，其特征在于：在所述的背压阀C（23）后经阀B（24）、减压阀B（40）连接有流量计（25）。