[发明专利]一种不锈钢表面硅烷化处理膜的制备方法有效
申请号: | 201410116791.4 | 申请日: | 2014-03-26 |
公开(公告)号: | CN103866262A | 公开(公告)日: | 2014-06-18 |
发明(设计)人: | 刘彦军;曾建强 | 申请(专利权)人: | 北京博赛德科技有限公司 |
主分类号: | C23C16/24 | 分类号: | C23C16/24;C23C16/52 |
代理公司: | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人: | 汤东凤 |
地址: | 北京市海淀区*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 不锈钢 表面 硅烷 处理 制备 方法 | ||
技术领域
本发明涉及材料表面处理技术领域,尤其涉及一种不锈钢表面硅烷化处理膜的制备方法。
背景技术
随着工业化进程的加速发展,人们环保意识的不断加强,大气中有害物质对环境的污染越来越受到人们的关注,很多有害物质都带有刺激性气味,甚至是恶臭气味,这些气味刺激嗅觉器官,引起人们不愉快及损害生活环境。医学研究表明,环境中的有害气味尤其是恶臭味对人体呼吸、消化、心血管、内分泌及神经系统会造成影响,高浓度的恶臭还可以使接触者发生肺水肿甚至窒息死亡。长期反复受到恶臭物质的刺激,还会引起嗅觉疲劳,导致嗅觉失灵,而刺激气味中的一些芳香化合物如苯、甲苯、苯乙烯等有害物质还可能使人产生畸变、癌变。通常大气环境中有害物质成分复杂,浓度低,需要通过合适的环境样品采集、分析,为大气环境防治提供可靠的依据。真空不锈钢罐采样系统是目前最理想的大气环境气体样品采集方式之一。用于大气环境气体样品采集的真空不锈钢罐又称为苏玛罐,传统上不锈钢罐表面首先经电子抛光技术将不锈钢表面的毛刺初步去除,表面光滑,减少比表面积,降低反应活性,再经酸洗处理能使不锈钢表面铁原子发生钝化反应,降低大气环境气体样品在不锈钢罐中由于吸附等因素造成气体样品中微量物质浓度的变化。苏玛罐在大气环境样品取样前先清洗、并抽真空,取样时只要开启阀门完成环境气体样品取样,取样过程中不需要附加其它取样设备,气体样品可以长时间保存,体积小,取样方便,一只苏玛罐可重复适用,寿命至少二十年,可以实现气体的全采样分析,经色质联用方法分离和分析单个样品VOCs,并可最大可浓缩气体样品1000倍浓度,提高检测精度。但对于含有酸性腐蚀性物质的气体样品,在样品储存过程中酸性物质会和不锈钢罐壁表面发生反应,造成气体样品中有害物质浓度发生变化,不锈钢罐表面仍需进一步钝化处理,提高抗腐蚀性能。通过硅烷化方法对不锈钢表面进行处理来提高不锈钢表面的抗腐蚀性能受到人们的关注,如中国专利CN103087569、CN103059625分别报道了一种防腐蚀不锈钢板表面硅烷化防护处理剂及其制备方法,然而经硅烷化处理后的不锈钢抗腐蚀性能有待提高。
发明内容
为解决上述现有技术存在的问题,本发明提出了一种不锈钢表面硅烷化处理膜的制备方法,是由硅烷化试剂四氢化硅(95.0-99.0%)及参杂剂氢化磷PH3(5.0-0.1%)混合气体,通过气相沉积,于不锈钢表面形成无定型硅薄膜,经表面处理后不锈钢具有良好的抗腐蚀性能。
本发明采取的技术方案是:
本发明的不锈钢表面硅烷化处理膜的制备方法,采用硅烷化处理剂四氢化硅与参杂剂氢化磷形成的混合气体,通过化学气相沉积,在不锈钢表面形成一层无定型硅处理膜,所述的混合气体中,四氢化硅的体积百分比为95-99%,氢化磷的体积百分比为0.1-5%。
所述的混合气体中,优选四氢化硅的体积百分比为99.5%,氢化磷的体积百分比为0.5%。
所述的混合气体中,优选四氢化硅的体积百分比为96%,氢化磷的体积百分比为4%。
本发明的不锈钢表面硅烷化处理膜的制备方法的具体步骤如下:将需要表面处理的不锈钢罐放入化学气相沉积室,清除不锈钢表面水汽,将化学气相沉积室抽至真空,再将四氢化硅与氢化磷混合气体通入,气相沉积气压控制范围在0.1–500Pa,控制气相沉积温度在200-600℃,进行化学气相沉积,沉积时间0.5-12小时,沉积完成后,通入氮气,降至室温。
优选:气相沉积气压4Pa,沉积温度320℃,气相沉积时间2小时。
优选:相沉积气压100Pa,沉积温度410℃,气相沉积时间4.5小时。
优选:气相沉积气压25Pa,沉积温度450℃,气相沉积时间6.8小时。
优选:气相沉积气压400Pa,沉积温度500℃,气相沉积时间10小时。
耐蚀性能检测:
将不锈钢样品放入盐雾机中进行试验,测试条件为:5%氯化钠溶液,温度35℃,连续喷雾,试验时间120h。进行耐腐蚀性能评价。
1级:表面光亮洁净、没有腐蚀斑点。
2级:表面无光泽、有少量腐蚀斑点。
3级:腐蚀斑点小于30%。
4级:腐蚀斑点超过30%。
本发明的积极效果如下:
不锈钢表经硅烷化处理后耐腐蚀性能达到1级,具有良好的抗腐蚀性能,含有酸性物质的气体样品在不锈钢罐中储存及运输过程中浓度无明显变化,满足了大气环境气体样品采集、分析的要求。
具体实施方式
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