[发明专利]基于双层梳齿驱动MEMS大转角可动闪耀光栅光调制器

权利要求书

1.双层梳齿驱动的MEMS大转角可动闪耀光栅光调制器其特征在于：包括：包括硅衬底以及设置于硅衬底上的绝缘层，光栅通过弹性悬臂梁悬空支撑于绝缘层上方,主要由双层梳齿驱动结构、光栅镜面、柔性梁、2个柱子、驱动电路组成;其中，光栅镜面与梳齿的动齿连接在一起，然后通过柔性梁与柱子连接，两个柱子固定在衬底表面，双层梳齿驱动由动齿和定齿组成，动齿交叉悬浮在定齿上方。

2.根据权利要求1所述的双层梳齿驱动的MEMS大转角可动闪耀光栅光调制器，其特征在于：所述的动齿分布在柔性梁两侧，交叉悬浮在两侧各自的定齿上方，动齿和两侧各自的定齿上均分别装设电极，驱动电路在动齿和两侧定齿间交替施加电压，使得光栅面可以两面偏转。

3.根据权利要求1所述的双层梳齿驱动的MEMS大转角可动闪耀光栅光调制器，其特征在于：双层梳齿驱动结构布局在中心的有效衍射光栅面两端，而且宽度小于光栅镜面带宽。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的双层梳齿驱动的MEMS大转角可动闪耀光栅光调制器阵列，其特征在于：所述双层梳齿驱动的MEMS大转角可动闪耀光栅光调制器阵列由至少2个双层梳齿驱动的MEMS大转角可动闪耀光栅光调制器并列而成，其中每一个双层梳齿驱动的MEMS大转角可动闪耀光栅光调制器均可在驱动电路控制下独立动作。