[发明专利]物理量传感器、电子设备及移动体

说明书

本发明提供一种通过使传感器元件的过驱动能够实施从而可缩短老化试验的时间的物理量传感器、以及使用了该物理量传感器的电子设备及移动体。物理量传感器（1）包括：传感器元件（20），其对预定的物理量进行检测；驱动电路（111），其生成传感器元件（20）的驱动信号；AGC电路（112），其基于传感器元件（20）的输出信号，而将驱动信号控制为与基准电压相对应的恒定电平，该基准电压是可变的。

技术领域

本发明涉及一种物理量传感器、电子设备及移动体。

背景技术

目前，在各种系统或电子设备中，广泛利用了对加速度进行检测的加速度传感器或对角速度进行检测的陀螺传感器等的、能够对各种物理量进行检测的物理量传感器。近年来，因将其搭载在汽车上等从而对各种物理量传感器要求极高的可靠性。

例如，使用压电振子的陀螺传感器存在具有传感器元件所具有的细微结晶缺陷或在制造工序上所产生的细微裂纹等的细微损伤的情况，从而存在随着时间的推移以该缺陷或损伤部成为起点，而产生传感器元件破损的情况。由于难以在出货前的电特性检查中检测出所有的不良，因此在面向要求高可靠性的车载市场等的陀螺传感器中，除了通常的电特性试验之外，为了对该元件破损进行检测，一般还投入到老化试验中。另外，在这种元件的不良检测中，一般使用将压电振子的驱动电平提高到高于通常的使用电平的电平的过驱动方法。

在专利文献1中提出了一种如下的结构，即，在以于电源和振荡电路之间设置恒压电路并向振荡电路供给恒定电压的方式而构成的压电振荡器中，能够使恒压电路无效的结构。根据该压电振荡器，由于能够使恒压电路无效，因此能够通过使电源电压发生变化从而对驱动电平进行变更。

另外，在专利文献2中提出了一种如下的晶体振荡器，其在振荡电路中安装电容值可变的外部负载电容器，并能够根据由外部负载电容器的电容变化而产生的频率变化量来实施良否判断。根据该晶体振荡器，不需要使恒压电路的功能无效的这种附加电路。

另外，在专利文献3中提出了一种如下的压电振荡器，其在压电振子和振荡电路之间设置开关电路，并能够使压电振子与振荡电路分离。根据该压电振荡器，由于在用于清除异物等的过驱动处理时，能够使压电振子与振荡电路分离，因此能够防止因高电压施加而引起的振荡电路的破损。

但是，在陀螺传感器等物理量传感器中，有时为了将输出灵敏度保持为恒定而内置AGC（Auto Gain Control：自动增益控制）电路，由于即使施加与通常情况相比而较高的电源电压以使其工作也不会出现过驱动，因此即使原样地应用专利文献1或专利文献2的方法，传感器元件的过驱动电平也不会发生变化。因此，由于老化试验的投入时间变长因而难以削减检查成本，从而也难以对过驱动电平特性进行评价。另外，由于在专利文献3的方法中需要从外部施加大振幅的AC电压，因此对使用弯曲振动的音叉型振子等的应用可能会成为单纯的破坏试验。

专利文献1：日本特开2001－07648号公报

专利文献2：日本特开2004－120523号公报

专利文献3：日本特开2004－328505号公报

发明内容

本发明是鉴于以上这种问题点而完成的，其能够提供一种通过使传感器元件的过驱动成为可能从而能够缩短老化试验的时间的物理量传感器、以及使用了该物理量传感器的电子设备及移动体。

本发明是为了解决上述课题的至少一部分而完成的，其能够作为以下的方式或应用例而实现。

应用例1

本应用例所涉及的物理量传感器包括：传感器元件，其对预定的物理量进行；驱动电路，其生成所述传感器元件的驱动信号；AGC电路，其基于所述传感器元件的输出信号，而将所述驱动信号控制为与基准电压相对应的恒定电平，所述基准电压是可变的。