[发明专利]MEMS音叉陀螺仪中的传感电极的振荡电压

权利要求书

1.一种用于操作微机电系统（MEMS）音叉陀螺仪的方法（200），该方法包括： 

使相对于第一检验质块的第一侧面在平面外且接近于该第一侧面的第一传感电极上的电压以第一频率在第一电压与第二电压之间振荡（204）； 

使相对于第一检验质块的第二侧面在平面外且接近于该第二侧面的第二传感电极上的电压以第一频率且与第一传感电极上的电压异相180度地在第一电压与第二电压之间振荡（206）；以及 

通过首先以第一频率对来自第一检验质块的平面外信号进行解调（210）且其次与第一检验质块的平面内运动同相地对该平面外信号进行解调来生成对应于第一检验质块的旋转速率的速率信号（214）。

2.根据权利要求1的方法（200），包括： 

向与第一检验质块在平面内的第一平面内电极施加第一AC驱动信号，以便在第一检验质块上感生出平面内运动（202）； 

向第一平面内电极施加第一四倍抵消信号，第一四倍抵消信号具有第一频率且与第一传感电极上的电压或第二传感电极上的电压同相（208）。

3.根据权利要求2的方法，包括： 

通过首先以第一频率对来自第一检验质块的所述平面外信号进行解调且其次与第一检验质块的平面内运动异相90度地对该平面外信号进行解调来生成四倍信号（212）； 

基于四倍信号的量值来确定电动机偏置值；以及 

将电动机偏置值与具有第一频率且与第一传感电极上的电压或第二传感电极上的电压同相的信号混合以生成第一四倍抵消信号。