[发明专利]研磨垫、研磨机台及研磨方法在审
| 申请号： | 201410110064.7 | 申请日： | 2014-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN103862364A | 公开（公告）日： | 2014-06-18 |
| 发明（设计）人： | 丁弋;朱也方;严钧华 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/20 | 分类号： | B24B37/20;B24B37/04;B24B37/34 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 研磨 机台 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种研磨垫，其特征在于，所述研磨垫包括底层，所述底层包括一疏水层表面，所述疏水表面的接触角大于等于90°。
2.如权利要求1所述的研磨垫，其特征在于，所述疏水表面为一疏水薄膜，所述疏水薄膜位于所述底层上。
3.如权利要求2所述的研磨垫，其特征在于，所述疏水薄膜为连接在所述底层上的疏水基团。
4.如权利要求1所述的研磨垫，其特征在于，所述底层上具有凸起结构，所述凸起结构形成所述疏水表面。
5.如权利要求4所述的研磨垫，其特征在于，所述凸起结构的粒径范围为3μm～30μm。
6.一种研磨机台，其特征在于，包括如权利要求1-5中任意一项所述的研磨垫。
7.如权利要求6所述的研磨机台，其特征在于，所述研磨机台还包括一吹气装置，所述吹气装置面向所述疏水表面，向所述疏水表面吹扫气体。
8.一种研磨方法，其特征在于，采用如权利要求6所述的研磨机台进行研磨。
9.如权利要求8所述的研磨方法，其特征在于，所述研磨机台还包括一吹气装置，所述吹气装置面向所述疏水表面，在所述研磨机台进行研磨时，所述吹气装置向所述疏水表面吹扫气体。
10.如权利要求8所述的研磨方法，其特征在于，采用所述研磨机台对金属铝进行研磨。
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