[发明专利]对没有重复分界的存储区域进行扫描的方法

权利要求书

1.对没有重复分界的存储区域进行扫描的方法，其特征在于，包括下述步骤：

步骤1.根据器件线宽获得待扫描的存储区域的单位存储单元的宽度；

步骤2.根据所述单位存储单元的宽度对所述存储区域进行划分；

步骤3.根据所述单位存储单元的宽度采用相邻单位存储单元对比扫描方式对划分后的所述存储区域进行扫描，获得所述存储区域的缺陷。

2.如权利要求1所述对没有重复分界的存储区域进行扫描的方法，其特征在于，所述存储区域为静态存储区域。

3.如权利要求1所述对没有重复分界的存储区域进行扫描的方法，其特征在于，步骤1中获得单位存储单元的宽度的具体过程为：

根据公式(1)获得所述宽度M：

M=L*K                    (1)

其中，M为单位存储单元的宽度；L为器件线宽；K为估算系数。

4.如权利要求3所述对没有重复分界的存储区域进行扫描的方法，其特征在于，所述器件线宽L范围为：45nm～90nm。

5.如权利要求3所述对没有重复分界的存储区域进行扫描的方法，其特征在于，所述估算系数K范围为：30～40。

6.如权利要求1所述对没有重复分界的存储区域进行扫描的方法，其特征在于，步骤3中采用相邻单位存储单元对比扫描方式对所述存储区域进行扫描的具体过程为：

采用相邻单位存储单元对比扫描方式逐对扫描相邻的两个单位存储单元。

7.如权利要求6所述对没有重复分界的存储区域进行扫描的方法，其特征在于，获得所述存储区域的缺陷的具体过程为：逐一判断每对相邻的两个所述单位存储单元的信噪比之差是否超出预设的信噪比，若是，则相邻的两个所述单位存储单元存在缺陷；若否，则相邻的两个所述单位存储单元没有缺陷。