[发明专利]红外线传感器、热检测元件及使用了它的热检测方法

权利要求书

1.一种红外线传感器，其特征在于，具备依次层叠有第1电极、电介质膜和第2电极的热检测元件以及电荷检测机构，

所述电介质膜显示反铁电性，且在规定的测定环境下具有自发极化，

所述电荷检测机构算出因所述自发极化的变化而流通的电流量，基于所述电流量的温度依赖性，检测所述热检测元件的热，

所述电介质膜为钙钛矿结构，且满足以下的组成式(1)～(2)所示的构成，

(Bi_1-x,La_x)(Fe_1-y,Mn_y)O₃(1)

(Bi_1-x,La_x)(Fe_1-y-z,Mn_y,Ti_z)O₃(2)

式(1)～(2)中，x、y及z均为大于0且小于1的值。

2.根据权利要求1所述的红外线传感器，其特征在于，进一步具备电源，

所述电介质膜具有在稳定状态的反铁电相与准稳定状态的铁电相之间进行相变的性质，

所述电源按照在所述电介质膜中将由所述反铁电相向所述铁电相进行相变的电压施加于所述热检测元件的方式而构成，

所述电源的电压施加停止后，所述电荷检测机构算出因与所述电介质膜中的由所述铁电相向所述反铁电相进行相变相伴的所述自发极化的变化而流通的松弛电流量，基于所述松弛电流量的温度依赖性检测所述热检测元件的热。

3.根据权利要求2所述的红外线传感器，其特征在于，所述第1电极和所述第2电极中的一方与所述电源连接，所述第1电极和所述第2电极中的另一方与所述电荷检测机构连接。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的红外线传感器，其特征在于，所述电介质膜以在所述规定的测定环境下所述自发极化缓慢变化的方式构成。

5.根据权利要求1～3中任一项所述的红外线传感器，其特征在于，所述电介质膜在(111)面优先取向。

6.一种热检测元件，其特征在于，依次层叠有第1电极、电介质膜和第2电极，

所述电介质膜显示反铁电性，且在规定的测定环境下具有自发极化，

所述电介质膜为钙钛矿结构，且满足以下的组成式(1)～(2)所示的构成，

(Bi_1-x,La_x)(Fe_1-y,Mn_y)O₃(1)

(Bi_1-x,La_x)(Fe_1-y-z,Mn_y,Ti_z)O₃(2)

式(1)～(2)中，x、y及z均为大于0且小于1的值。

7.一种使用了热检测元件的热检测方法，其特征在于，设置在第1电极和第2电极之间的电介质膜显示反铁电性，且在规定的测定环境下具有自发极化，

所述电介质膜为钙钛矿结构，且满足以下的组成式(1)～(2)所示的构成，

(Bi_1-x,La_x)(Fe_1-y,Mn_y)O₃(1)

(Bi_1-x,La_x)(Fe_1-y-z,Mn_y,Ti_z)O₃(2)

式(1)～(2)中，x、y及z均为大于0且小于1的值；

所述热检测方法具有如下工序：

对所述电介质膜施加使所述自发极化产生的电压的工序，和

算出因所述自发极化而流通的电流量，基于所述电流量的温度依赖性，检测所述热检测元件的热的工序。