[发明专利]一种AZO靶材及AZO透明导电薄膜的制备方法有效
| 申请号： | 201410105233.8 | 申请日： | 2014-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN103882384A | 公开（公告）日： | 2014-06-25 |
| 发明（设计）人： | 王新华;叶静;严密 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | C23C14/28 | 分类号： | C23C14/28;C23C14/08 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人： | 胡红娟 |
| 地址： | 310027 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 azo 透明 导电 薄膜 制备 方法 | ||
1.一种AZO靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
1）将ZnO和Al2O3混合球磨，加入聚乙烯醇造粒，然后干燥，再压制成型，得到素坯；
2）素坯经烧结后得到AZO靶材。
2.根据权利要求1所述的AZO靶材的制备方法，其特征在于，步骤1）中，所述的ZnO和Al2O3均采用粉体。
3.根据权利要求1所述的AZO靶材的制备方法，其特征在于，步骤1）中，所述的ZnO与Al2O3的质量比为100：1～3。
4.根据权利要求1所述的AZO靶材的制备方法，其特征在于，步骤1）中，球磨介质为无水乙醇，球磨时间为8～16小时。
5.根据权利要求1所述的AZO靶材的制备方法，其特征在于，步骤1）中，所述的聚乙烯醇的加入量为ZnO和Al2O3总质量的1%～3%。
6.根据权利要求1所述的AZO靶材的制备方法，其特征在于，步骤1）中，所述的素坯为圆柱形。
7.根据权利要求1所述的AZO靶材的制备方法，其特征在于，步骤1）中，所述的压制成型的条件为：压力8MPa～12MPa，保压时间8min～15min。
8.根据权利要求1所述的AZO靶材的制备方法，其特征在于，步骤2）中，所述的烧结的条件为：以1～5℃/min升至400～600℃在400～600℃保温1～3小时，再以3～8℃/min升温至1000℃～1400℃在1000℃～1400℃保温1～3小时，最后随炉冷却。
9.一种AZO透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
1）将ZnO和Al2O3混合球磨，加入聚乙烯醇造粒，然后干燥，再压制成型，得到素坯；
2）素坯经烧结后得到AZO靶材；
3）将烧结好的AZO靶材用脉冲激光沉积方法在玻璃上镀膜，得到AZO透明导电薄膜。
10.根据权利要求9所述的AZO透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，所述的脉冲激光沉积方法的条件为：本底真空：1～5×10-5torr，频率：8～12HZ，能量：150～350mj，衬底温度：100℃～300℃，时间：40～60min。
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