[发明专利]多功能单芯片键合作业手

权利要求书

1.一种多功能单芯片键合作业手，其特征在于，其包括作业手爪、显微视觉、XYZ轴运动平台、旋转轴运动平台、支撑体，其中：

XYZ轴运动平台为3维坐标运动机构，用于带动显微视觉和作业手抓做3维运动；

旋转轴运动平台与XYZ轴运动平台的Z轴相连接，用于带动作业手抓实现旋转运动；

作业手爪位于旋转轴运动平台下方，用于实现芯片的抓取；

显微视觉与XYZ轴运动平台的Z轴相连接，用于实现芯片位姿捕捉，进而为作业手抓提供芯片位姿信息；

支撑体用于支撑所述XYZ轴运动平台。

2.根据权利要求1所述的多功能单芯片键合作业手，其特征在于，所述作业手爪包括连接于旋转轴运动平台上的线性轴承、安装于线性轴承下方的调平机构、以及安装于线性轴承外围的缓冲弹簧和力传感器，所述力传感器上端与旋转轴运动平台连接，力传感器下端与线性轴承连接，线性轴承下端与调平机构连接，用于带动调平机构在力传感器内部上下移动。

3.根据权利要求2所述的多功能单芯片键合作业手，其特征在于，所述调平机构包括转接螺母、弹性气管、锁紧螺母、可动气爪、金属气管和球形键合压头，其中：

弹性气管、金属气管和球形键合压头在线性轴承上从上至下安装设置；

可动气爪安装于弹性气管、金属气管和球形键合压头的外围，可动气爪外侧部分设置为圆锥形面；

锁紧螺母安装于可动气爪外围，锁紧螺母具有与可动气爪对应设置的圆锥形孔；

转接螺母上下两端分别与线性轴承和可动气爪固定安装。

4.根据权利要求3所述的多功能单芯片键合作业手，其特征在于，所述线性轴承包括内轴和外轴，所述转接螺母上端与线性轴承的内轴固定安装，弹性气管、金属气管和球形键合压头在线性轴承的内轴上从上至下安装设置。

5.根据权利要求3所述的多功能单芯片键合作业手，其特征在于，所述可动夹爪上端为外螺纹，中间为圆锥型面，内部为圆柱内孔，下端为用于容纳球形键合压头的球形内腔，可动夹爪的外表面上设有若干开口缝。

6.根据权利要求5所述的多功能单芯片键合作业手，其特征在于，所述开口缝的数量设置为两个或两个以上。

7.根据权利要求3所述的多功能单芯片键合作业手，其特征在于，所述球形键合压头内部开有内孔，下方的键合工作面上开有若干吸附小孔。