[发明专利]一种大行程的高精度微纳夹持器

权利要求书

1.一种大行程的高精度微纳夹持器，其特征在于包括两根竖直设置的圆柱状的扭转臂，所述的扭转臂的下端固定设置有基座，所述的扭转臂的上端固定设置有水平设置的夹持臂，两根所述的夹持臂相对设置且相平行，所述的扭转臂上固定设置有压电扭转驱动器，所述的夹持臂的侧面上固定设置有压电弯曲驱动器。

2.如权利要求1所述的一种大行程的高精度微纳夹持器，其特征在于所述的压电扭转驱动器为压电陶瓷扭转驱动器或压电纤维扭转驱动器。

3.如权利要求2所述的一种大行程的高精度微纳夹持器，其特征在于所述的压电陶瓷扭转驱动器包括至少四片瓦形的第一压电陶瓷片，所述的第一压电陶瓷片的数量为偶数，所述的第一压电陶瓷片粘贴在所述的扭转臂的外圆周面上且相互围成圆管状，所述的第一压电陶瓷片的底部与所述的扭转臂的下端对齐，相邻的两个所述的第一压电陶瓷片的极化方向相反，相邻的两个所述的第一压电陶瓷片之间固定设置有电极，相邻的两个所述的电极的极性相反。

4.如权利要求2所述的一种大行程的高精度微纳夹持器，其特征在于所述的压电纤维扭转驱动器由压电纤维薄膜沿所述的扭转臂的外圆周面绕一周而成，所述的压电纤维薄膜粘贴固定在所述的扭转臂的外圆周面上，所述的压电纤维扭转驱动器为一个或多个。

5.如权利要求1所述的一种大行程的高精度微纳夹持器，其特征在于所述的扭转臂为空心圆管。

6.如权利要求1所述的一种大行程的高精度微纳夹持器，其特征在于所述的压电弯曲驱动器为形状和尺寸均与所述的夹持臂相同的第二压电陶瓷片，位于两个夹持臂上的第二压电陶瓷片的电极极性相反，所述的第二压电陶瓷片粘贴固定在所述的夹持臂的外侧面或两侧面上且后端与所述的夹持臂的根部对齐，位于同一个夹持臂两侧面上的第二压电陶瓷片的电极极性相同。

7.如权利要求1所述的一种大行程的高精度微纳夹持器，其特征在于所述的扭转臂和所述的夹持臂的材料为单晶硅、多晶硅或优质合金。

8.如权利要求1所述的一种大行程的高精度微纳夹持器，其特征在于所述的夹持臂的前端夹持面上设置有摩擦纹。

9.如权利要求1所述的一种大行程的高精度微纳夹持器，其特征在于两个所述的基座之间固定设置有尺寸预调块，所述的尺寸预调块由多片调节片并排组成。