[发明专利]一种尾气出口连接内伸管的多晶硅还原炉及连接方法

权利要求书

1.一种尾气出口连接内伸管的多晶硅还原炉，其特征是还原炉顶盘为无孔的半球型，中心尾气出口连接内伸管垂直伸入炉内，内伸管高度高于硅棒，内伸管外套接正六边形状硅块；还原炉底盘上电极为一层，按正六边形排布。

2.如权利要求1所述的还原炉，其特征是正六边形状硅块内径略大于内伸管外径，以方便套入；正六边形的边长为内伸管外径的1.05‐1.2倍。

3.如权利要求1所述的还原炉，其特征是正六边形状硅块为正六边形螺母状硅块，由下及上堆叠将内伸管完全包裹。

4.如权利要求1所述的还原炉，其特征是还原炉底盘上以正三角形排布的相邻三根电极的中心处设有一通气口，每一根电极的周围均匀排布六个通气口，且六个通气口位于以该电极为中心的正六边形顶点处。

5.如权利要求1所述的还原炉连接方法，其特征是炉体固定到还原炉底盘上并密封，还原炉顶盘固定到炉体上并密封，硅芯通过石墨夹套与底盘电极相连接并密封，硅芯及电极在顶部由硅棒两两相接，底盘电极固定到还原炉底盘且密封，并与供电系统相连接，底盘混合气进气控制阀与混合气进气管和底盘通气口相连接，底盘尾气出气控制阀与尾气出气管和内伸管相连接，内伸管外套有若干正六边形螺母状硅块。

6.如权利要求5所述的还原炉连接方法，其特征是还原炉底盘连接有底盘冷却水进口、底盘冷却水出口；炉体连接有炉体冷却水入口和炉体冷却水出口；还原炉顶盘连接有顶盘冷却水入口、顶盘冷却水出口。