[发明专利]超薄型精密温控加热台无效
| 申请号: | 201410101118.3 | 申请日: | 2014-03-18 |
| 公开(公告)号: | CN103861676A | 公开(公告)日: | 2014-06-18 |
| 发明(设计)人: | 刘军;王晓雷;刘欣;王晓伟 | 申请(专利权)人: | 青岛汉源微电子有限公司 |
| 主分类号: | B01L7/00 | 分类号: | B01L7/00 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 266111 山东*** | 国省代码: | 山东;37 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 超薄型 精密 温控 加热 | ||
1.一种超薄型精密温控加热台,与控温系统连接,其特征在于:它包括发热部件、保温层、空气隔离层、聚四氟乙烯隔热板,所述保温层包覆于发热部件的四周和底面上,所述聚四氟乙烯隔热板设置于保温层下面,所述聚四氟乙烯隔热板与保温层之间为空气隔离层。
2.根据权利要求1所述的超薄型精密温控加热台,其特征在于:所述发热部件底部通过螺钉固定设有隔离罩,所述隔离罩与发热部件之间的间隙为保温层,且保温层内填充电子石棉,所述隔离罩上通过螺钉设有保护罩,且隔离罩与保护罩之间设有间隙,所述隔离罩与保护罩之间的间隙为空气隔离层,所述保护罩上通过螺钉设置聚四氟乙烯隔热板。
3.根据权利要求1的超薄型精密温控加热台,其特征在于:所述发热部件包括受热板、发热体、温度传感器、固定板,所述发热体为铠装电热器,所述受热板底部设有螺旋状盘旋槽,所述盘旋槽截面为矩形或半圆矩形或半圆形或梯形,发热体盘绕设置于受热板的盘旋槽内。
4.根据权利要求1的超薄型精密温控加热台,其特征在于:所述发热部件包括受热板、发热体、温度传感器、固定板,所述发热体为铠装电热器,所述固定板上设有螺旋状盘旋槽,所述盘旋槽截面为矩形或半圆矩形或半圆形或梯形,发热体盘绕设置于固定板的盘旋槽内。
5.根据权利要求3或4所述的超薄型精密温控加热台,其特征在于:所述发热部件的固定板上设有安装温度传感器的凹槽,所述凹槽截面为矩形或半圆矩形或半圆形或梯形,所述温度传感器为铠装铂电阻或铠装热电偶,温度传感器设置于固定板的凹槽内。
6.根据权利要求3或4所述的超薄型精密温控加热台,其特征在于:所述发热部件的受热板侧面上设有圆形深孔,所述温度传感器为铠装铂电阻或铠装热电偶,温度传感器设置于受热板的圆形深孔内。
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