[发明专利]一种卷对卷高效制备硫化镉薄膜的装置和方法

权利要求书

1.一种卷对卷高效制备硫化镉薄膜的装置，其特征在于：包括：

-将柔性的衬底平铺输送的输送机构，

-进行沉积反应的沉积箱，

-与沉积箱相接的溶液加热循环机构，

-洗刷衬底的滚筒洗刷机构，

-烘干衬底的烘干装置；

所述沉积箱、滚筒洗刷机构和烘干装置沿着衬底的输送方向依次设置。

2.按照权利要求1所述的一种卷对卷高效制备硫化镉薄膜的装置，其特征在于：所述输送机构包括：

-位于衬底输送路线首端和尾端的、将衬底缠绕成卷的卷筒，

-位于衬底输送路线中的、导引衬底的输送方向的多个导辊，

-将衬底定位在沉积箱和烘干装置中的多个调整辊。

3.按照权利要求1所述的一种卷对卷高效制备硫化镉薄膜的装置，其特征在于：所述沉积箱内均匀分布有若干个超声波震荡器。

4.按照权利要求1所述的一种卷对卷高效制备硫化镉薄膜的装置，其特征在于：所述溶液加热循环机构包括：依次相接的第一流量控制器、水泵、三通阀、混合箱、蛇形盘管换热器、保温容器、第二流量控制器；第一流量控制器和第二流量控制器分别与沉积箱相接；三通阀的另一端通入溶液。

5.按照权利要求1所述的一种卷对卷高效制备硫化镉薄膜的装置，其特征在于：所述衬底的正面为硫化镉薄膜，滚筒洗刷机构与衬底的背面相接触。

6.按照权利要求2所述的一种卷对卷高效制备硫化镉薄膜的装置，其特征在于：所述烘干装置的前后两端各设有一个调整辊，衬底穿过烘干装置。

7.一种卷对卷高效制备硫化镉薄膜的方法，其特征在于：使用权利要求1至6中任一项所述的一种卷对卷高效制备硫化镉薄膜的装置，包括如下步骤：

a.衬底展开：将成卷的衬底通过输送机构展开；

b.溶液配置：用于沉积反应的溶液的配置；

c.溶液加热：溶液通过溶液加热循环机构加热；

d.反应沉积：溶液注入沉积箱，在衬底上均匀流动，在衬底的正面生长出硫化镉薄膜；

e.衬底的输送：衬底从反应沉积工序移至清洗工序；

f.衬底的清洗：对衬底的背面进行清洗，得到洁净的衬底；

g.洁净的衬底的输送：将洁净的衬底输送至烘干工序；

h.表面烘干：通过烘干装置烘干衬底两面的水分，固化表面；

i.衬底收起：将衬底缠绕成卷。

8.按照权利要求7所述的一种卷对卷高效制备硫化镉薄膜的方法，其特征在于：所述步骤a中，展开的衬底同时置于沉积箱、滚筒洗刷机构和烘干装置中。

9.按照权利要求7所述的一种卷对卷高效制备硫化镉薄膜的方法，其特征在于：所述步骤c中，加热的温度为60-90℃；步骤d中，反应时间为8-30min。

10.按照权利要求7所述的一种卷对卷高效制备硫化镉薄膜的方法，其特征在于：所述步骤d至i连续进行。