[发明专利]镀铜溶液及其制造和使用方法有效

专利信息
申请号: 201410097867.3 申请日: 2014-03-14
公开(公告)号: CN104047036B 公开(公告)日: 2018-11-02
发明(设计)人: 罗格·伯纳兹;理查德·贝勒马尔 申请(专利权)人: 麦德美乐思美国有限公司
主分类号: C25D3/38 分类号: C25D3/38;C25D7/12
代理公司: 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 代理人: 余刚;张英
地址: 美国康*** 国省代码: 美国;US
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摘要:
搜索关键词: 镀铜 溶液 及其 制造 使用方法
【权利要求书】:

1.一种将铜电镀至基板上的方法,包括:

提供基板;和

使所述基板与含有铜离子源和导电盐的镀铜溶液接触,其中所述镀铜溶液由于基本上不含氯离子而具有1.7~3.5之间的pH,

其中所述基板是在硅太阳能电池晶片上的金属晶种层,

所述方法进一步包含选自下组的添加剂:咪唑及咪唑衍生物、噻唑及噻唑衍生物和含季氮原子的化合物。

2.根据权利要求1所述的方法,其中所述含季氮原子的化合物是噻唑鎓化合物或聚合物季铵化合物。

3.根据权利要求1所述的方法,其中所述铜离子源是硫酸铜。

4.根据权利要求1所述的方法,其中所述导电盐是硫酸锂。

5.根据权利要求1所述的方法,其中所述pH为2.3~3.0之间。

6.根据权利要求1所述的方法,其中所述添加剂选自下组:2-巯基咪唑、2-巯基噻唑、3-(羧甲基)苯并噻唑鎓溴化物、2-巯基-1-甲基咪唑、2-氨基噻唑和Cyastat SN。

7.一种镀铜溶液,包含:

铜离子源;和

导电盐,

其中所述镀铜溶液由于基本上不含氯离子而具有1.7~3.5的pH,

其中所述导电盐是硫酸锂,

所述镀铜溶液进一步包含选自下组的添加剂:咪唑及咪唑衍生物、噻唑及噻唑衍生物和含季氮原子的化合物。

8.根据权利要求7所述的溶液,其中所述含季氮原子的化合物是噻唑鎓化合物或聚合物季铵化合物。

9.根据权利要求7所述的溶液,其中所述铜离子源是硫酸铜。

10.根据权利要求7所述的溶液,其中所述pH为2.3~3.0。

11.根据权利要求7所述的溶液,其中所述添加剂选自下组:2-巯基咪唑,2-巯基噻唑,3-(羧甲基)苯并噻唑鎓溴化物、2-巯基-1-甲基咪唑、2-氨基噻唑和Cyastat SN。

12.一种镀铜溶液,包含:

铜离子源;和

导电盐,

其中所述镀铜溶液由于基本上不含氯离子而具有1.7~3.5的pH,

其中所述导电盐是硫酸钠,

所述镀铜溶液进一步包含选自下组的添加剂:咪唑及咪唑衍生物、噻唑及噻唑衍生物和含季氮原子的化合物。

13.根据权利要求12所述的溶液,其中所述含季氮原子的化合物是噻唑鎓化合物或聚合物季铵化合物。

14.根据权利要求12所述的溶液,其中所述铜离子源是硫酸铜。

15.根据权利要求12所述的溶液,其中所述pH为2.3~3.0。

16.根据权利要求12所述的溶液,其中所述添加剂选自下组:2-巯基咪唑,2-巯基噻唑,3-(羧甲基)苯并噻唑鎓溴化物、2-巯基-1-甲基咪唑、2-氨基噻唑和Cyastat SN。

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