[发明专利]改进MEMS振荡器启动的系统及方法

权利要求书

1.一种MEMS谐振器系统，包括：

MEMS谐振器，具有被配置为在固有谐振频率处振荡的可移动构件；

振荡器，被配置为提供一系列具有在所述MEMS谐振器的所述固有谐振频率附近的频率和具有持续时间的脉冲；以及

启动电路，电耦合于所述振荡器和所述MEMS谐振器，其中所述启动电路被配置为从所述振荡器接收系列脉冲，并且给所述MEMS谐振器提供所述系列脉冲；

所述MEMS谐振器系统还包括电耦合于所述启动电路和所述MEMS谐振器的反相器电路，其中所述反相器电路被配置为接收所述系列脉冲作为输入并且将所述系列脉冲的互补信号作为输出提供给所述MEMS谐振器。

2.根据权利要求1所述的MEMS谐振器系统，其中每一个脉冲的持续时间接近所述MEMS谐振器的固有频率的倒数。

3.根据权利要求1所述的MEMS谐振器系统，其中所述启动电路被配置为给所述MEMS谐振器提供预定数量的所述脉冲。

4.根据权利要求3所述的MEMS谐振器系统，其中所述脉冲的预定数量在1和64之间。

5.根据权利要求1所述的MEMS谐振器系统，其中所述系列脉冲的所述频率在所述MEMS谐振器的固有频率的250Hz以内。

6.根据权利要求1所述的MEMS谐振器系统，还包括电耦合于所述MEMS谐振器的输入和所述MEMS谐振器的输出的反馈电路，其中所述反馈电路被配置为改变在所述MEMS谐振器的所述输出处提供的信号的相位和振幅中的至少一个，并且将所改变的信号提供给所述MEMS谐振器的所述输入。

7.根据权利要求6所述的MEMS谐振器系统，其中所述启动电路和所述反馈电路通过开关电耦合于所述MEMS谐振器，并且其中所述开关被配置为在给所述MEMS谐振器提供所述系列脉冲和所改变的信号之间进行选择。

8.根据权利要求7所述的MEMS谐振器系统，其中所述启动电路还被配置为确定所述MEMS谐振器是否在振荡，并且基于确定所述MEMS谐振器没有振荡，使得所述开关给所述MEMS谐振器提供所述系列脉冲。

9.根据权利要求8所述的MEMS谐振器系统，其中所述启动电路还被配置为基于确定所述MEMS谐振器没有振荡，使得所述振荡器给所述启动电路提供所述系列脉冲。

10.根据权利要求1所述的MEMS谐振器系统，其中所述启动电路被配置为响应于提供给所述启动电路的输入信号给所述MEMS谐振器提供所述系列脉冲。

11.根据权利要求1所述的MEMS谐振器系统，其中所提供的系列脉冲使得所述MEMS谐振器在所述MEMS谐振器的所述固有频率附近振荡。

12.根据权利要求7所述的MEMS谐振器系统，所述开关还被配置为从给所述MEMS谐振器提供所述系列脉冲和互补脉冲以及所改变的信号之间进行选择。