[发明专利]微位移标定仪及其使用方法

权利要求书

1.微位移标定仪，其特征在于，包括弹性体（1）和螺杆（2），所述弹性体（1）包括上下薄壁，上下薄壁的一端连接处设有带水平通孔的矩形块，所述矩形块的左右两端分别设有端盖（6），所述螺杆（2）贯穿上下薄壁，螺杆（2）下端与位移传感器（4）接触。

2.如权利要求1所述的微位移标定仪，其特征在于，所述位移传感器（4）固定在套筒（3）内，所述套筒（3）与弹性体（1）固定连接。

3.如权利要求2所述的微位移标定仪，其特征在于，所述螺杆（2）和套筒（3）通过螺纹联接，所述位移传感器（4）通过螺钉（7）固定在套筒（3）内。

4.如权利要求1-3任一项所述的微位移标定仪，其特征在于，所述弹性体（1）上下两个薄壁中间位置垂直设有两个同轴的孔，所述螺杆（2）穿过这两个同轴的孔。

5.如权利要求4所述的微位移标定仪，其特征在于所述：弹性体（1）上下两个薄壁中间部位为凸台，所述两个同轴的孔设置在凸台的中间位置。

6.如权利要求5所述的微位移标定仪，其特征在于，所述弹性体（1）下薄壁的凸台下端面设有凹槽，所述套筒（3）外圆的上端部为圆台状，有两个平行的平面，所述两个平行的平面与该凹槽配合。

7.如权利要求1-6所述的微位移标定仪的使用方法，其特征在于，先测定所述弹性体（1）的垂直接近量与水平接近量的比例系数I，再对待标定位移传感器进行标定。

8.如权利要求7所述的微位移标定仪的使用方法，其特征在于，包括以下步骤：

第一步，先将高精度微位移传感器固定在矩形块的水平通孔（8）中，并通过两个端盖（6）固定；然后转动螺杆（2），拉近弹性体（1）的上下两个薄壁，弹性体（1）内部出现弹性应力和变形，弹性体（1）的两个薄壁之间的垂直接近量通过螺杆（2）下端的伸出量由位移传感器（4）测得；矩形块的左右两个端面的水平接近量通过两个端盖（6）由高精度微位移传感器测得；螺杆（2）转动到不同的位置，拟合出垂直接近量和水平接近量之间的比例系数I；

第二步，将高精度微位移传感器从矩形块的水平通孔（8）中取出，将待标定的微位移传感器（5）置于矩形块的水平通孔（8）中，并通过两个端盖（6）固定；转动螺杆（2），位移传感器（4）测出螺杆（2）的伸出量，即弹性体（1）两个薄壁之间的垂直接近量，矩形块的左右两个端面的水平接近量由待标定微位移传感器（5）以电压变化的形式输出，这个水平接近量与输出电压的变化值的比值，就是待标定的微位移传感器（5）的灵敏度。