[发明专利]框中框重叠标记有效
| 申请号： | 201410087496.0 | 申请日： | 2014-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN104752410B | 公开（公告）日： | 2017-10-27 |
| 发明（设计）人： | 周建明 | 申请（专利权）人： | 南亚科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544;G03F9/00 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司11205 | 代理人： | 臧建明 |
| 地址： | 中国台湾桃园县龟山*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 框中框 重叠 标记 | ||
1.一种框中框重叠标记，其特征在于，包括：
内框区和围绕所述内框区的外框区；
密集的多条窄沟槽，在所述内框区和所述外框区中的前层之中，其中至少所述内框区中的所述窄沟槽指向不同于X向和Y向的方向；
多数个X向和多数个Y向的条状光刻胶图形，其在所述内框区中的所述窄沟槽上方定义出矩形，其中所述条状光刻胶图形定义于用以定义当层的光刻胶层中或定义自所述光刻胶层，且各所述条状光刻胶图形比各所述窄沟槽宽；以及
多数个X向和多数个Y向的条状图形，其在所述外框区中定义出另一矩形，其中所述条状图形定义于所述前层之中或定义自所述前层，且各所述条状图形比各所述窄沟槽宽。
2.根据权利要求1所述的框中框重叠标记，其特征在于，所述内框区中的所述窄沟槽所指向的所述方向偏离X向或Y向至少20°角。
3.根据权利要求2所述的框中框重叠标记，其特征在于，所述内框区中的所述窄沟槽所指向的所述方向与X向或Y向夹45°角。
4.根据权利要求1所述的框中框重叠标记，其特征在于，所述外框区中的所述窄沟槽也指向所述内框区中的所述窄沟槽所指向的所述方向。
5.根据权利要求1所述的框中框重叠标记，其特征在于，各所述窄沟槽的宽度在30～100纳米的范围内，各所述条状光刻胶图形的宽度在100至1000纳米的范围内，且在外框区中的各所述条状图形的宽度在100至1000纳米的范围内。
6.根据权利要求1所述的框中框重叠标记，其特征在于，所述内框区中的所述条状光刻胶图形为沟槽图形，所述沟槽图形被定义在用以定义所述当层的所述光刻胶层中。
7.根据权利要求1所述的框中框重叠标记，其特征在于，所述内框区中的所述条状光刻胶图形为光刻胶条，所述光刻胶条定义自用以定义所述当层的所述光刻胶层。
8.根据权利要求1所述的框中框重叠标记，其特征在于，所述外框区中的所述条状图形为被定义在所述前层中的沟槽。
9.根据权利要求1所述的框中框重叠标记，其特征在于，所述外框区中的所述条状图形包括定义自所述前层的实线图形。
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