[发明专利]一种双槽沟槽蚀刻机有效
申请号: | 201410082522.0 | 申请日: | 2014-03-08 |
公开(公告)号: | CN103834948A | 公开(公告)日: | 2014-06-04 |
发明(设计)人: | 马玉水 | 申请(专利权)人: | 山东高唐杰盛半导体科技有限公司 |
主分类号: | C23F1/08 | 分类号: | C23F1/08 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 252800 山东省聊*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 沟槽 蚀刻 | ||
技术领域
本发明涉及电子元器件蚀刻处理装置,具体涉及一种双槽沟槽蚀刻机。
背景技术
蚀刻机主要应用于航空、机械、标牌工业中,蚀刻机技术广泛地被使用于减轻重量仪器镶板,铭牌及传统加工法难以加工之薄形工件等之加工。在半导体和线路版制程上,蚀刻更是不可或缺的技术。也可对各种金属如:铁、铜、铝、钛金、不锈钢、锌版、等金属和金属制品的表面蚀刻图纹、花纹、几何形状,并能精确镂空。也可专业针对各种型号的国产和进口不锈钢进行蚀刻和薄板切割,如今广泛应用于金卡标牌加工、手机按键加工、不锈钢滤网加工、不锈钢电梯装饰板加工、金属引线框加工、金属眼镜脚丝加工、线路板加工、装饰性金属板加工等工业用途。现有的蚀刻机一般采用抓取机械手将装有电子元器件的工具蓝放入酸洗槽、水槽进行蚀刻、清洗。机械手一般采用上下或左右的震动方式在将电子元器件酸液中腐蚀,抓取机械手需要采用复杂的控制机构才能实现标准化作业,常造成蚀刻面不均匀,大面积腐蚀速度慢,清洗不彻底等问题。
发明内容
针对现有技术的不足,本发明的目的在于提供一种双槽沟槽蚀刻机,能够解决蚀刻面不均匀,大面积腐蚀速度慢,清洗不彻底的问题。
本发明采用的技术方案是:一种双槽沟槽蚀刻机,包括机架,机架上设有酸洗槽、水洗槽,所述酸洗槽与水洗槽之间设有输送装置,所述输送装置上活动连接有旋转篮筐,所述输送装置可把旋转篮筐送入酸洗槽进行蚀刻、所述输送装置可把旋转篮筐送入水洗槽进行清洗,所述旋转篮筐可沿其中轴线转动;所述输送装置通过传动装置与动力输出装置相连。
进一步,所述输送装置包括转动轴;所述转动轴位于酸洗槽与水洗槽之间。
转动轴的外侧面上安装有摆臂;所述旋转篮筐的中轴线上设有旋转轴,所述旋转轴的两端通过滚动轴承连接在摆臂的端部;所述旋转篮筐的中轴线垂直于摆臂。所述转动轴、旋转轴通过传动装置与动力输出装置相连。
进一步,所述动力输出装置包括第一伺服电机、第二伺服电机;所述转动轴为由内管、外管通过滚动轴承连接而成的内外镶嵌结构;所述摆臂安装在转动轴的外管上,所述外管通过传动装置与第一伺服电机相连。
所述转动轴的内管通过传动装置与第二伺服电机相连,转动轴的内管的外侧面上设有链轮,旋转轴的外侧面上设有链轮,内管的外侧面上的链轮与旋转轴的外侧面上的链轮通过穿过外管的传动链条相连;通过第一伺服电机实现转动轴的外管转动从而实现摆臂沿转动轴转动,通过第二伺服电机实现转动轴的内轴转动从而带动旋转篮筐沿旋转轴转动。
进一步,所述摆臂有两个,所述摆臂固定在转动轴的外管的外侧面上;所述两摆臂的端部通过滚动轴承连接有旋转轴,旋转轴与转动轴平行;所述转动轴的外管上设有链轮,所述链轮通过传动链条与第一伺服电机相连;所述内管的长度大于外管,所述内管的外侧面上位于外管以外部分上设有链轮,所述链轮通过传动链条与第二伺服电机相连。
进一步,所述动力输出装置还包括第三伺服电机;所述双槽沟槽蚀刻机还包括挡雾罩,所述挡雾罩包括一对对称设置的扇形立面,两扇形立面之间通过圆弧面相连;所述外管的外侧面上两摆臂的外侧各设有套管,扇形立面的顶点设置在套管上;其中一套管上设有链轮,所述链轮通过链条与第三驱动电机相连。设有活动的挡雾罩,可以在酸洗时,有效低地阻挡酸雾向蚀刻机外蔓延并防止酸液外溅。
进一步,所述酸洗槽的侧面上设有系吸风孔,所述吸风孔与位于机架顶部的吸风装置相连。
进一步,所述动力输出装置通过电路与PLC可编程逻辑控制器相连,通过PLC可编程逻辑控制器相连控制动力输出装置的工作。
进一步,所述酸洗槽和/或水洗槽上设有气枪,所述气枪与喷气装置相连;所述酸洗槽和/或水洗槽设有喷头,所述喷头通过喷管与喷液装置相连。
进一步,所述酸洗槽的底面为与旋转篮筐的外侧面相适应的弧面。
进一步,所述酸洗槽上设有降温盘管,所述降温盘管与冷却液循环装置相连。
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