[发明专利]电子束熔炼制备钒靶材的方法在审
申请号: | 201410081151.4 | 申请日: | 2014-03-06 |
公开(公告)号: | CN104894388A | 公开(公告)日: | 2015-09-09 |
发明(设计)人: | 席晓丽;苏学宽;陈文娟;聂祚仁 | 申请(专利权)人: | 北京工业大学 |
主分类号: | C22B9/22 | 分类号: | C22B9/22;C22B34/22 |
代理公司: | 北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 | 代理人: | 张慧 |
地址: | 100124 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电子束 熔炼 制备 钒靶材 方法 | ||
1.电子束熔炼制备钒靶材的方法,其特征在于,用氩弧焊连接不规则的金属钒材边角料,或者用含钒90%的钒铝合金置于电磁聚焦电子束熔炼炉的料仓作为熔料电极;通过高能电子束对熔料电极进行轰击、熔化、熔炼,并在一直抽真空的条件下经过蒸发的方式获得高纯度的钒靶材。
2.按照权利要求1的方法,其特征在于,在电磁聚焦电子束熔炼炉中熔炼时,采用下拉制锭,炉体内的压强为1x10-1—1x10-3Pa,电子枪电压2.5-3万伏,电流3-6安培。
3.按照权利要求2的方法,其特征在于,采用间断进料,连续下牵引的方式制锭,间断进料时间为每分钟8-12mm,下牵引速度为5-8mm。
4.按照权利要求1的方法,其特征在于,采用多次轰击、熔化、熔炼并一直抽真空的蒸发的方式循环多次得到更加纯净的钒靶材。
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