[发明专利]一种双自由度平面抛光装置

权利要求书

1.一种双自由度平面抛光装置，其特征在于：包括底盘和工件移动机构，所述底盘为方形研磨盘，所述方形研磨盘的盘面粒度沿着长边方向从左至又依次递增；

所述工件移动机构包括真空吸盘、工件转动轴、气缸、滑台、水平云台、控制滑台水平方向左右移动的第一滚轴丝杠和第一直线导轨、控制水平云台前后移动的第二滚轴丝杠和第二直线导轨；所述第一滚轴丝杠和第一直线导轨的两端固定在水平云台上，所述第一滚轴丝杠的一端连接第一电机，所述第二滚轴丝杠的一端连接第二电机；

所述滑台上设有竖直向下的轴孔，所述工件安装轴穿过轴孔，所述工件安装轴的底部连接真空吸盘，所述工件安装轴的顶部通过联轴器连接气缸的活塞杆，所述气缸顶部连接第三电机。所述第三电机固接在安装板上，所述安装板固定在滑台上。

2.根据权利要求1所述的一种双自由度平面抛光装置，其特征在于：所述工件安装轴与滑台通过轴承连接。