[发明专利]一种制备氮掺杂石墨烯的方法无效

专利信息
申请号: 201410079966.9 申请日: 2014-03-06
公开(公告)号: CN103864064A 公开(公告)日: 2014-06-18
发明(设计)人: 简基康;杜文伟;吴荣 申请(专利权)人: 新疆大学
主分类号: C01B31/04 分类号: C01B31/04;B82Y30/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 830046 新疆维吾尔*** 国省代码: 新疆;65
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摘要:
搜索关键词: 一种 制备 掺杂 石墨 方法
【权利要求书】:

1.一种常压高温氨气环境下制作氮掺杂石墨烯的新方法,其特征在于样品的制备是在常压氨气的环境下进行,并且通过以下工艺过程实现:将商业购买的碳化硅单晶片表面去污后将晶片放在石墨垫片上,随后放入高温管式炉内一定位置,密封高温管式炉,然后在Ar氛围中将高温管式炉升温至预设温度,停止通Ar,转为通入预定流量的NH3,反应15-120min,最后在Ar保护下自然冷却至室温,在SiC晶片表面得到氮掺杂的石墨烯。

2.如权利要求1所述的方法,其特征在于,生长是在高温管式炉中进行,碳化硅晶片放入高温管式炉的中心位置。

3.如权利要求1所述的方法,其特征在于,生长过程是在常压、氨气环境下。

4.如权利要求1所述的方法,其特征在于,高温管式炉预设温度为1500oC。

5.如权利要求1所述的方法,其特征在于,预定NH3流量为200sccm。

6.如权利要求1所述的方法,其特征在于,通入NH3的时间为15-120min。

7.如权利要求1所述的方法,其特征在于,在晶片表面得到氮掺杂的石墨烯。

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