[发明专利]基底分离装置

说明书

技术领域

本发明总地来说涉及基底分离装置。

背景技术

最近，具有柔性的电子设备的重要性不断增加。因此，需要各种技术来实现例如在柔性基底上的各种类型的显示器，如有机发光显示器（“OLED”）、电泳显示器（“EPD”）、等离子显示面板（“PDP”）、薄膜晶体管（“TFT”）、微处理器和随机存取存储器（“RAM”）。

为了在柔性基底上制造电子设备，已经提出将柔性基底附着到由硬质材料制成的载体基底上并形成电子设备的方法。在该方法中，分离载体基底和柔性基底的过程被执行。

然而，在分离载体基底和柔性基底的过程中，电子设备可能被损坏或破裂，载体基底和柔性基底可能由于分离过程中产生的静电而无法顺利分离，并且当外来物质由于静电而附着到载体基底和柔性基底时可能会出现污染。

发明内容

发明的一个或多个示例性实施例提供可以稳定地分离第一基底和柔性的第二基底的基底分离装置。

发明的一个或多个示例性实施例还提供在基底分离过程中通过控制静电而可以最小化污染的基底分离装置。

然而，发明的示例性实施例并不局限于本文中提出的实施例。通过参照下面给出的对发明的详细描述，发明的上述和其它示例性实施例对于发明涉及的领域的普通技术人员将变得更明显。

根据发明的示例性实施例，提供一种分离彼此接触的第一基底和第二基底的装置。该装置包括固定第一基底并沿由彼此垂直相交的X轴和Y轴组成的XY坐标系中的正X轴方向传送第一基底的上传送部件以及被设置在上传送部件下方并且其间具有间隙并固定和传送第二基底的下传送部件，其中下传送部件包括在正X轴方向传送第二基底的第一传送部分以及在正X轴方向和负Y轴方向传送第二基底的第二传送部分。

附图说明

通过参照附图详细描述本发明的示例性实施例，本发明的上述和其它示例性实施例和特征将变得更加明显，附图中：

图1是根据发明的基底分离装置的示例性实施例的示意性剖视图；

图2是示出图1中所示的下传送部件的示例性实施例的示意性结构的剖视图；

图3是示出图1中所示的下传送部件的示例性实施例的示意性结构的透视图；

图4是示出图1中所示的第一传送部分和第二传送部分的示例性实施例的剖视图；

图5是示出图1中所示的第一传送部分和第二传送部分的另一示例性实施例的剖视图；

图6是示出图1中所示的第一传送部分和第二传送部分的另一示例性实施例的剖视图；

图7是示出图1中所示的第一传送部分和第二传送部分的另一示例性实施例的剖视图；

图8是示出图1中所示的第一传送部分和第二传送部分的另一示例性实施例的剖视图；

图9是示出图1中所示的第一传送部分和第二传送部分的另一示例性实施例的剖视图；

图10是示出图1中所示的第一传送部分和第二传送部分的另一示例性实施例的剖视图；

图11是示出图1中所示的上传送部件的示意性结构的透视图；

图12是示出图1中所示的上固定单元的示例性实施例的示意性结构的剖视图；

图13是示出图1中所示的上固定单元的示例性实施例的示意性结构的仰视图；

图14是示出图1中所示的分离器的示例性实施例的示意性结构的剖视图；

图15是示出图1中所示的分离器的示例性实施例的示意性结构的透视图；

图16是示出图1中所示的分离器的另一示例性实施例的示意性结构的透视图；

图17是示出根据发明的示例性实施例的分离器的操作的透视图；

图18是示出根据发明的示例性实施例的上固定单元和分离器的操作的示意剖视图；

图19是示出根据发明的另一示例性实施例的上固定单元和分离器的操作的示意剖视图；

图20是示出根据发明的基底分离装置中的根据发明的示例性实施例的辅助分离器和离子发生器的布置的示意性透视图；和

图21至图23是分别示出根据发明的示例性实施例的基底分离方法的步骤和基底分离装置的操作的剖视图。

具体实施例