[发明专利]一种用于太阳能硅片制造的清洗液无效
| 申请号： | 201410075280.2 | 申请日： | 2014-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN103952246A | 公开（公告）日： | 2014-07-30 |
| 发明（设计）人： | 李新家;贾明 | 申请（专利权）人： | 西安通鑫半导体辅料有限公司 |
| 主分类号： | C11D1/83 | 分类号： | C11D1/83;C11D3/60 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 徐文权 |
| 地址： | 710300 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 太阳能 硅片 制造 清洗 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于太阳能硅片制造的清洗液，其特征在于：按质量百分比计包括1～10%的非离子表面活性剂，1～10%的阴离子表面活性剂，0.5～5%的金属离子络合剂，0.5～5%的缓蚀剂，余量为去离子水。
2.根据权利要求1所述的用于太阳能硅片制造的清洗液，其特征在于：所述的非离子表面活性剂为壬基酚聚氧乙烯醚、异辛醇聚氧乙烯醚和脂肪酸甲酯聚氧乙烯醚中的一种或多种的混合物。
3.根据权利要求1所述的用于太阳能硅片制造的清洗液，其特征在于：所述的阴离子表面活性剂为壬基酚聚氧乙烯硫酸钠或十二烷基苯磺酸钠。
4.根据权利要求1所述的用于太阳能硅片制造的清洗液，其特征在于：所述的金属离子络合剂为葡萄糖酸钠、乙二胺四乙酸二钠或柠檬酸钠。
5.根据权利要求1所述的用于太阳能硅片制造的清洗液，其特征在于：所述的缓蚀剂为苯并三氮唑或硼酸。
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