[发明专利]低温泵及其再生方法有效
| 申请号： | 201410075005.0 | 申请日： | 2014-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN104047831A | 公开（公告）日： | 2014-09-17 |
| 发明（设计）人： | 木村敏之 | 申请（专利权）人： | 住友重机械工业株式会社 |
| 主分类号： | F04B37/08 | 分类号： | F04B37/08 |
| 代理公司： | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人： | 温旭;郝传鑫 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 低温泵 及其 再生 方法 | ||
1.一种低温泵，其特征在于，具备：
低温板；
低温泵容器，容纳所述低温板；及
控制部，构成为为了所述低温板的再生而控制所述低温泵容器的排气和向所述低温泵容器的吹扫气体的供给，
所述控制部执行如下工序：第1排出工序，包括在第1压力范围内交替进行所述低温泵容器的排气和所述吹扫气体的供给；及第2排出工序，包括使所述低温泵容器排气直至低于所述第1压力范围的低压区域，
所述第2排出工序包括如下步骤：在所述低压区域至少判定一次是否结束所述第2排出工序；及在首次判定是否结束所述第2排出工序之前，向所述低温泵容器供给吹扫气体。
2.根据权利要求1所述的低温泵，其特征在于，
所述控制部依次执行如下步骤：结束所述第1排出工序；使所述低温泵容器排气，以使其从所述第1压力范围达到所述低压区域；及向所述低温泵容器供给吹扫气体。
3.根据权利要求1或2所述的低温泵，其特征在于，
所述第2排出工序包括交替进行如下步骤：使所述低温泵容器排气直至所述低压区域；及向所述低温泵容器供给吹扫气体。
4.一种低温泵的再生方法，其特征在于，具备：
第1排出工序，包括在第1压力范围内交替进行低温泵容器的排气和吹扫气体的供给；及
第2排出工序，包括使所述低温泵容器排气直至低于所述第1压力范围的低压区域，
所述第2排出工序包括如下步骤：在所述低压区域至少判定一次是否结束所述第2排出工序；及在首次判定是否结束所述第2排出工序之前，向所述低温泵容器供给吹扫气体。
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