[发明专利]用于对数码显微镜进行测量校准的校准板及其使用方法

权利要求书

1.一种用于对数码显微镜中在显微镜图像上对标本实施的尺寸测量进行测量校准的校准板，所述校准板包括至少一个形成有表面构造的校准区，所述表面构造包括周期性地排布的多个格子单元，其中，每个格子单元的边界的至少一部分和/或顶点的至少一部分能够由所述数码显微镜的光学成像系统识别出。

2.根据权利要求1所述的校准板，其特征在于，各个格子单元的大小和形状相同。

3.根据权利要求2所述的校准板，其特征在于，各个格子单元都呈正方形。

4.根据权利要求3所述的校准板，其特征在于，所述多个格子单元以国际象棋棋盘的样式排布。

5.据权利要求1所述的校准板，其特征在于，所述多个格子单元为在一维方向上分布的条纹。

6.根据权利要求1所述的校准板，其特征在于，每个格子单元的能够由所述数码显微镜的光学成像系统识别出的所述边界的至少一部分的两侧具有互不相同的反射率。

7.根据权利要求6所述的校准板，其特征在于，每个格子单元的整体和与其邻接的区域或与其邻接的格子单元具有互不相同的反射率。

8.根据权利要求7所述的校准板，其特征在于，每个格子单元和与其邻接的区域或与其邻接的格子单元分别具有通过光刻形成的反射率不同的表面。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的校准板，其特征在于，所述校准板包括多个不同的所述校准区，各个不同的所述校准区内的格子单元的大小互不相同。

10.根据权利要求1至8中任一项所述的校准板，其特征在于，在至少一个所述校准区的至少一个格子单元内形成有子表面构造，所述至少一个格子单元内的子表面构造也包括周期性地排布的多个格子单元，其中所述子表面构造的每个格子单元的边界的至少一部分和/或顶点的至少一部分能够由所述数码显微镜的光学成像系统识别出。

11.根据权利要求1至8中任一项所述的校准板，其特征在于，所述校准板还包括对所有波长的可见光都具有相同反射率的均匀反射区。

12.根据权利要求11所述的校准板，其特征在于，所述均匀反射区由形成在所述校准板表面上的金属覆层或光学反射覆层形成。

13.一种数码显微镜系统，包括数码显微镜和根据权利要求1至12中任一项所述的校准板。

14.根据权利要求13所述的数码显微镜系统，其特征在于，所述数码显微镜具有可移动的载物台，所述校准板安装在所述载物台上，并且能够随所述载物台移动而使其校准区位于所述数码显微镜的物镜视野中。