[发明专利]一种半导体CdS/CdSSe异质结纳米线及其制备方法有效
申请号: | 201410071960.7 | 申请日: | 2014-02-28 |
公开(公告)号: | CN103882514A | 公开(公告)日: | 2014-06-25 |
发明(设计)人: | 潘安练;郭鹏飞 | 申请(专利权)人: | 湖南大学 |
主分类号: | C30B23/02 | 分类号: | C30B23/02;C30B29/62;C30B29/48;H01L31/0296;H01L31/18 |
代理公司: | 长沙市融智专利事务所 43114 | 代理人: | 颜勇 |
地址: | 410082 湖*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 半导体 cds cdsse 异质结 纳米 及其 制备 方法 | ||
1.一种半导体CdS/CdSSe异质结纳米线,其特征在于:所述CdS/CdSSe异质结纳米线中CdS纳米线与CdSSe纳米线之间的界面为陡峭界面。
2.根据权利要求1所述的一种半导体CdS/CdSSe异质结纳米线,其特征在于:所述CdS纳米线为单晶结构纳米线;所述CdSSe纳米线为单晶结构纳米线。
3.根据权利要求1所述的一种半导体CdS/CdSSe异质结纳米线,其特征在于:所述CdS/CdSSe异质结纳米线的长度为50-100微米、直径为80-400纳米。
4.一种如权利要求1-3任意一项所述半导体CdS/CdSSe异质结纳米线的制备方法,其特征在于:
以CdS粉末和CdSe粉末作为原料,对CdS粉末和CdSe粉末分别进行加热,得到CdS蒸汽和CdSe蒸汽,通过载气将CdS蒸汽和CdSe蒸汽送到反应器中并在具有金膜的硅片上进行沉积,得到CdSSe单晶纳米线后;停止通入CdS蒸汽和CdSe蒸汽,继续通入纯载气,稀释至炉内CdS蒸汽和CdSe蒸汽的含量小于等于1%-0.5%后;重新通过载气将CdS蒸汽导入炉内,在生成的CdSSe单晶纳米线上进行沉积,得到CdS/CdSSe异质结纳米线;或
以CdS粉末作为原料,对CdS粉末进行加热得到CdS蒸汽后,通过载气将CdS蒸汽送到反应器中并在具有金膜的硅片上进行沉积,得到CdS单晶纳米线后,停止通入CdS蒸汽并继续通入纯载气,稀释至炉内CdS蒸汽的含量小于等于1%-0.5%后,重新通过载气将CdS蒸汽和CdSe蒸汽导入炉内,在生成的CdS单晶纳米线上进行沉积,得到CdS/CdSSe异质结纳米线;
沉积时,控制温度为650-750℃。
5.根据权利要求4所述一种半导体CdS/CdSSe异质结纳米线的制备方法,其特征在于包括下述步骤:
步骤一
将带有进气口和出气口的水平管式炉加热部位中心的温度定义为T1,两端温度定义为T2;将靠进气口一端的温度T2对应的位置定义为蒸发区,将靠近出气口的一端的温度T2对应的位置定义为沉积区;
步骤二
将装有CdS的磁舟1置于水平管式炉的温度T1部位,将装有CdSe的磁舟2置于水平管式炉温度T2对应的蒸发区;将带有金膜的硅片悬空置于水平管式炉温度T2对应的沉积区;另取足量CdS装入磁舟3并置于水平管式炉进气口一端的加热区外,磁舟3与磁舟2之间以连杆连接;磁舟3与推进装置相连;
步骤三
抽真空,通入载气,升温至水平管式炉T1部位温度为780-800℃,T2对应的蒸发区和沉积区温度均为650-700℃,磁舟1中的CdS粉末和磁舟2的CdSe粉末受热蒸发形成蒸汽,由载气送至设于沉积区的带有金膜的硅片上,进行沉积,得到CdSSe单晶纳米线后;降温至T1部位温度为550-580℃,通过与磁舟3相连的推进装置,推动磁舟3向加热区移动,进而,磁舟3通过连杆推动磁舟2同方向移动,当磁舟2移动至与磁舟1接触时,将磁舟1一起推离加热区,最终,将磁舟3推进至T1部位;继续通入纯净载气,将水平管式炉内CdS蒸汽和CdSe蒸汽浓度稀释至1%-0.5%后;升温至T1部位温度为830-850℃,磁舟3中的CdS粉末受热蒸发形成蒸汽,由载气送至设于沉积区的CdSSe单晶纳米线上进行沉积,得到CdS/CdSSe异质结纳米线;此时,T2对应的沉积区温度为680-730℃。
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