[发明专利]一种用于调焦测量的光谱重构系统

权利要求书

1.一种光谱重构系统，包括：

多种波段的光源系统，提供多个不同波段的光束；

偏振分束系统，对不同波段的光束进行处理，以产生不同波段不同偏振态光束输出；

偏振光强可调系统，根据不同工艺条件对不同波段不同偏振态光束的光强进行调整；

合束系统，对经光强调整后的不同波段不同偏振态光束进行合束；

该偏振分束系统包括多个第一偏振分光棱镜，用于分别将多个不同波段光束进行处理，使每一波段光束被分成偏振态不同的P光和S光；该偏振光强可调系统包括多个可变偏振分光镜组，用于对不同波段不同偏振态光束的光强进行调整；

对应于每个波段的光束所述偏振光强可调系统由第一可变偏振分光镜组和第二可变偏振分光镜组组成，该波段光束的P光入射至所述第一可变偏振分光镜组，该波段光束的S光入射至第二可变偏振分光镜组，所述第一可变偏振分光镜组和第二可变偏振分光镜组均由各自的半波片和偏振分光棱镜组成，经过所述第一可变偏振分光镜组的偏振分光棱镜后的光分别入射至所述合束系统和所述第二可变偏振分光镜组的偏振分光棱镜。

2.根据权利要求1所述的光谱重构系统，其特征在于，该多种波段光源系统包括多个光源。

3.根据权利要求2所述光谱重构系统，其特征在于，该多种波段光源系统还包括与多个光源分别对应的准直透镜。

4.根据权利要求2所述的光谱重构系统，其特征在于，该光源是LED、卤素灯、汞灯、钠灯、氙灯或激光。

5.根据权利要求1所述的光谱重构系统，其特征在于，该合束系统包括多个耦合镜组、多个保偏光纤、一个光纤合束器以及合束光纤。

6.根据权利要求1所述的光谱重构系统，其特征在于，该合束系统包括多个第二偏振分光棱镜、多个第一二向色镜、多个第二二向色镜、一个耦合镜组以及合束光纤。

7.根据权利要求2所述的光谱重构系统，其特征在于，该光谱重构系统还包括驱动系统，对光源进行开关及光强输出控制。

8.根据权利要求2所述的光谱重构系统，其特征在于，该光谱重构系统还包括散热系统，对光源进行散热。

9.一种调焦调平系统，包括权利要求1-8中任意一个所述的光谱重构系统。