[发明专利]一种光刻机工件台及其垂向位置初始化方法

权利要求书

1.一种光刻机工件台，包括水平向模块、微动模块、预对准模块和衬底交接模块，其特征在于：所述微动模块包括多个重力补偿器，多个绝对位置传感器，多个光栅尺传感器以及微动板；所述多个绝对位置传感器用于工件台的垂向位置回零；所述多个光栅尺传感器用于工件台的垂向伺服控制；所述多个光栅尺传感器包括垂向光栅尺和Rz光栅尺，垂向光栅尺包括3个光栅尺，用于实现Z，Rx，Ry位置测量；

还包括位置传感器反馈控制回路，所述位置传感器反馈控制回路反馈所述绝对位置传感器的测量值，控制所述重力补偿器压力，使所述微动板的位置调整到给定范围内。

2.如权利要求1所述的光刻机工件台，其特征在于，还包括切换器，实现光栅尺反馈控制回路和所述位置传感器控制环路的控制切换。

3.如权利要求1所述的光刻机工件台，其特征在于，所述绝对位置传感器为电涡流位置传感器。

4.一种光刻机工件台的垂向位置初始化方法，所述光刻机工件台包括水平向模块、微动模块、预对准模块和衬底交接模块，所述微动模块包括重力补偿器，位置传感器，光栅尺传感器以及微动板；所述光栅尺传感器包括垂向光栅尺和Rz光栅尺，垂向光栅尺包括3个光栅尺，用于实现Z，Rx，Ry位置测量；还包括位置传感器反馈控制回路，其特征在于，包括如下步骤：

1)垂向初始位置判断，比较位置传感器测量值与设定值的差是否小于阈值；

2)调整所述重力补偿器压力；

3)重复执行步骤1)和2)，直到垂向初始偏差满足给定条件；

4)采用所述光栅尺传感器反馈实现垂向电机闭环控制；

5)垂向搜零；

6)调整零位偏差。

5.如权利要求4所述的光刻机工件台的垂向位置初始化方法，其特征在于，所述步骤2)所述调整重力补偿器压力是根据所述重力补偿器所在 位置与设定值的差乘以比例系数作为调整压力。

6.一种光刻机工件台的垂向位置初始化方法，所述光刻机工件台包括水平向模块、微动模块、预对准模块和衬底交接模块，所述微动模块包括重力补偿器，位置传感器，光栅尺传感器以及微动板；所述光栅尺传感器包括垂向光栅尺和Rz光栅尺，垂向光栅尺包括3个光栅尺，用于实现Z，Rx，Ry位置测量；还包括位置传感器反馈控制回路，其特征在于，包括如下步骤：

1)所述位置传感器反馈控制回路控制调整所述重力补偿器压力；

2)所述微动板的位置调整到给定范围内；

3)采用所述光栅尺传感器反馈实现垂向电机闭环控制；

4)垂向搜零；

5)调整零位偏差。

7.一种光刻机工件台的垂向位置初始化方法，其特征在于，包括水平向模块、微动模块、预对准模块和衬底交接模块，所述微动模块包括重力补偿器，位置传感器，光栅尺传感器以及微动板；所述光栅尺传感器包括垂向光栅尺和Rz光栅尺，垂向光栅尺包括3个光栅尺，用于实现Z，Rx，Ry位置测量；还包括位置传感器反馈控制回路，包括如下步骤：

1)所述位置传感器反馈控制回路闭环控制垂向电机；

2)所述微动板的位置调整到给定范围内；

3)所述光栅尺传感器清零；

4)切换到光栅尺传感器闭环控制垂向电机回路。

8.如权利要求4-7之一所述的光刻机工件台的垂向位置初始化方法，其特征在于，所述位置传感器控制回路带宽范围1Hz～20Hz，光栅尺控制回路带宽30Hz～100Hz。