[发明专利]一种柔性透明薄膜电极及其制作方法

权利要求书

1.一种柔性透明薄膜电极，其特征在于：该电极结构为在可拉伸基底表层上掩埋一层导电纳米材料；其中导电纳米材料是金属纳米线、金属氧化物纳米线、碳基纳米材料及这些材料的二元或多元复合物；可拉伸基底为弹性体。

2.根据权利要求1所述的柔性透明薄膜电极，其特征在于：所述的金属纳米线、金属氧化物纳米线是金纳米线、银纳米线、铜纳米线、硅纳米线、氧化锌纳米线或氧化铜纳米线，碳基纳米材料是碳纳米管、石墨烯；所述的可拉伸基底是聚甲基硅氧烷PDMS，聚丙烯酸酯PMMA或其它降解聚酯Ecoflex。

3.一种如权利1所述的柔性透明薄膜电极的制作方法，其特征在于：将0.1~1 M导电纳米材料的醇溶液H涂布到衬底A上至干燥；将液态基底材料涂布到纳米导电材料上并置于真空干燥箱中抽真空除气泡；控温在65℃~100℃，加热固化12~6 h；最后将衬底A剥离，得到柔性透明薄膜电极。

4.根据权利要求3所述的柔性透明薄膜电极的制作方法，其特征在于：所述醇溶液H是甲醇、乙醇或异丙醇。

5.根据权利要求3所述的柔性透明薄膜电极的制作方法，其特征在于衬底A是硅片、玻璃、聚对苯二甲酸乙二醇酯PET或聚酰亚胺PI。

6.根据权利要求3所述的柔性透明薄膜电极的制作方法，其特征在于：将导电纳米材料的醇溶液H涂布在衬底A上的涂布方式包括旋涂、喷涂、Mayer棒涂布、注射器滴加或丝网印刷。