[发明专利]用于可再充电电池的电极制造设备及锂沉积装置

权利要求书

1.一种可再充电电池的电极制造设备，所述电极制造设备包括：

真空室，具有内部空间；以及

锂沉积器，容纳锂源并具有蒸发单元和设置在蒸发单元上的喷嘴单元，蒸发单元加热并蒸发锂源，喷嘴单元具有开口，其中，通过控制开口率来控制开口，以控制锂的沉积量，

其中，喷嘴单元包括喷嘴壳体，喷嘴壳体包括侧壁和在喷嘴壳体的上端处形成的开口，

其中，喷嘴单元还包括设置在喷嘴壳体内的第一打开/关闭板和第二打开/关闭板，第一打开/关闭板被安装为旋转的，并且第二打开/关闭板设置为面对第一打开/关闭板并被安装为旋转的，

其中，通过控制第一打开/关闭板和第二打开/关闭板的旋转来控制开口率，

其中，多个孔形成在第一打开/关闭板和第二打开/关闭板处，

其中，第一打开/关闭板包括使第一打开/关闭板旋转的电机，

其中，第一打开/关闭板的旋转轴点连接到且安装有第一齿轮，第二打开/关闭板的旋转轴点连接到且安装有结合到第一齿轮的第二齿轮。

2.根据权利要求1所述的电极制造设备，其中，第一打开/关闭板和第二打开/关闭板包括加热线。

3.根据权利要求1所述的电极制造设备，其中，喷嘴单元具有侧壁，加热线安装在侧壁处。

4.根据权利要求1所述的电极制造设备，其中，喷嘴单元包括侧壁，彼此面对的侧壁包括感测孔，电极制造设备还包括通过感测孔检测锂的沉积量的传感器。

5.根据权利要求1所述的电极制造设备，其中，蒸发单元具有侧壁，侧壁安装有用于加热的加热线。

6.根据权利要求5所述的电极制造设备，其中，用于在蒸发单元中供应锂的锂供应管连接并安装在蒸发单元的一个侧壁处。

7.根据权利要求5所述的电极制造设备，其中，蒸发单元的底部包括用于排放杂质的排泄孔。

8.根据权利要求1所述的电极制造设备，其中，卷绕有电极的卷绕辊、卷绕有其上沉积有锂的电极的螺旋卷绕辊和设置在锂沉积器上并支撑电极的沉积转鼓安装在真空室中。

9.根据权利要求1所述的电极制造设备，其中，电极制造设备包括两个锂沉积器，锂沉积器中的一个锂沉积器在电极的第一表面上沉积锂，另一个锂沉积器在电极的第二表面上沉积锂。

10.一种用于可再充电电池的电极制造设备的锂沉积装置，所述锂沉积装置在可再充电电池的基板上沉积锂，所述锂沉积装置包括：

蒸发单元，限定容纳锂的内部室，其中，蒸发单元包括加热锂的热源；

设置在蒸发单元上的喷嘴单元，具有适于设置为靠近可再充电电池的基板的开孔，其中，喷嘴单元具有可控的可变开口，从而通过由可变开口限定的开孔的尺寸来控制提供到基板的锂的量，

其中，喷嘴单元包括喷嘴壳体，喷嘴壳体包括侧壁并限定第一孔，喷嘴单元还包括设置在喷嘴壳体内的第一打开/关闭板和第二打开/关闭板，第一打开/关闭板被安装为旋转的，并且第二打开/关闭板设置为面对第一打开/关闭板并被安装为旋转的，第一打开/关闭板和第二打开/关闭板设置在第一孔内，

其中，通过控制第一打开/关闭板和第二打开/关闭板的旋转来控制第一孔的尺寸，第一打开/关闭板和第二打开/关闭板组合限定所述可变开口，

其中，多个孔形成在第一打开/关闭板和第二打开/关闭板处，

其中，喷嘴壳体的侧壁包括具有梯形截面的第一侧壁和第二侧壁，第一打开/关闭板和第二打开/关闭板安装在平行轴上，平行轴在所述第一侧壁与所述第二侧壁之间延伸，第一打开/关闭板和第二打开/关闭板在完全关闭位置和完全打开位置之间旋转，在完全关闭位置，可变开口被关闭，在完全打开位置，可变开口的宽度近似等于第一打开/关闭板和第二打开/关闭板的平行轴之间的距离，

其中，所述锂沉积装置还包括：电机，与第一打开/关闭板和第二打开/关闭板中的一个接合；齿轮组件，与电机接合，从而电机的操作使第一打开/关闭板和第二打开/关闭板两者旋转。

11.根据权利要求10所述的锂沉积装置，其中，蒸发单元和喷嘴单元限定壁，其中，加热线形成在壁内。