[发明专利]用于生产硅块的设备在审
| 申请号: | 201410068762.5 | 申请日: | 2014-02-27 |
| 公开(公告)号: | CN104032370A | 公开(公告)日: | 2014-09-10 |
| 发明(设计)人: | 卡斯帕斯·戴斯;马克·迪特里希;比安卡格朗迪-文约克;斯蒂芬·洛克 | 申请(专利权)人: | 太阳世界创新有限公司 |
| 主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B11/00 |
| 代理公司: | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人: | 李献忠 |
| 地址: | 德国弗*** | 国省代码: | 德国;DE |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 用于 生产 设备 | ||
1.一种用于生产硅块的设备(1),其包括:
a、至少一个用于容纳半导体熔体的第一容器(3);
b、至少一个用于容纳半导体熔体的第二容器(4);
c、其中,所述至少一个第二容器(4)具有出口(12),经由所述出口(12),液态硅能够从所述至少一个第二容器(4)流出到所述至少一个第一容器(3)中;以及
d、其中,所述容器(3、4)布置在共同的腔(9)中。
2.根据权利要求1所述的设备(1),其特征在于,所述第二容器(4)的容量(V2)小于所述第一容器(3)的容量(V1),即V2<V1。
3.根据权利要求1至2之一所述的设备(1),其特征在于,所述设备(1)包括加热装置(15),所述加热装置(15)适用于不仅在所述第一容器(3)中而且在所述第二容器(4)中使得硅(6)熔融。
4.根据权利要求3所述的设备(1),其特征在于,所述加热装置(15)通过如下方式构成,即,在使得所述第一容器(3)中的硅熔体(2)固化期间,能够使得所述第二容器(4)中的块状硅(6)熔融。
5.根据前述权利要求之一所述的设备(1),其特征在于用于容纳块状硅(6)的第三容器(8),所述第三容器(8)经由输送装置(7)与所述第二容器(4)连接。
6.一种用于生产硅块的方法,其包括如下步骤:
a、提供一种根据前述权利要求之一所述的设备(1);
b、在所述第一容器(3)中提供硅熔体(2);
c、在所述第二容器(4)中提供硅熔体(2);
d、使得所述第一容器(3)中的所述硅熔体(2)定向固化;以及
e、将液态硅从所述第二容器(4)转移到所述第一容器(3)中。
7.根据权利要求6所述的方法,其特征在于,在使得所述第一容器(3)中的所述硅熔体(2)定向固化期间,将液态硅从所述第二容器(4)转移到所述第一容器(3)中。
8.根据权利要求6至7之一所述的方法,其特征在于,在一个或者多个时间段期间连续地将液态硅从所述第二容器(4)转移到所述第一容器(3)中。
9.根据权利要求6至8之一所述的方法,其特征在于,所述第一容器(3)具有容量(V1),总共从所述第二容器(4)转移到所述第一容器(3)中的液态硅具有容量(Vn),其中,适用的是:0.05V1≤Vn。
10.根据权利要求6至9之一所述的方法,其特征在于,从所述第二容器(4)到所述第一容器(3)中的所述转移以处于0.1kg/h至10kg/h范围内的速率来实现。
11.根据权利要求6至10之一所述的方法,其特征在于,所述第二容器(4)中的硅具有预先确定的浓度的一种或多种掺杂物。
12.根据权利要求6至11之一所述的方法,其特征在于,在使得所述第一容器(3)中的硅熔体(2)固化期间,至少阶段式地将块状硅(6)从第三容器(8)输送给所述第二容器(4)。
13.根据权利要求12所述的方法,其特征在于,输送给所述第二容器的硅(6)具有预先确定的浓度的一种或多种掺杂物。
14.一种硅块,其按照根据权利要求6至13之一所述的方法来生产。
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