[发明专利]一种制备ITO靶材的方法

权利要求书

1.一种制备ITO靶材的方法，其特征是：所述制备方法包括如下步骤：

第一步、首先取纯度99.9%～100%，平均粒径范围为0.02～1μm的ITO粉或氧化铟与氧化锡的混合物作为粉体，以去离子水为水溶剂，然后在水溶剂中加入占粉体0.05～1%的有机分散剂形成溶液，进一步用氨水调节溶液pH值至9～11，在上述溶液配制过程中要始终用磁力转子或机械搅拌棒进行搅拌，以使水溶剂中的有机分散剂与氨水混合均匀，然后将粉体与配置好的溶液一同进行球磨，经球磨制备出固含量为80～90%、粘度为18～971mPa·s的ITO浆料（9）；

第二步、将第一步获得的ITO浆料（9）放入抽滤成型设备中的微孔模具（11）上，盖上密封盖（6）使抽滤成型设备的上模（7）与密封盖（6）形成封闭的上工作腔，启动真空泵A（2）对上工作腔进行抽真空，将上工作腔抽至真空度为0.5～2Pa并保真空5～10min后通过阀门A（1）破真空，进而实现ITO浆料（9）抽真空除泡，然后启动真空泵B（10）对微孔模具(11)下方的下模（4）进行抽真空，目的是将ITO浆料（9）中的一部分水分从微孔模具（11）上的微孔中排出，此时真空泵B（10）在10～30min内将下模（4）抽至真空度为0.1～100Pa，并保真空1～3h，待ITO浆料（9）形成坯体后立即脱模，得到高密度的均匀ITO靶材坯体；

第三步、将上步得到的ITO靶材坯体先经室温干燥3～6天后，坯体再依次经过20～30℃干燥4～7天，80～150℃进一步干燥2～3天，550～900℃脱脂10～30h，1500～1650℃氧气氛烧结后即可得到所需的ITO靶材。

2.根据权利要求1所述的制备ITO靶材的方法，其特征是：所述第一步中氧化铟与氧化锡的混合物的质量比为90:10。

3.根据权利要求1所述的制备ITO靶材的方法，其特征是：所述第一步中的水溶剂在制备固含量为80～90%浆料时，水溶剂的质量含量占粉体的11.1～25.0%。

4.根据权利要求1所述的制备ITO靶材的方法，其特征是：所述第一步中的有机分散剂为聚丙烯酸系分散剂或聚羧酸系分散剂中的任意一种。

5.根据权利要求1所述的制备ITO靶材的方法，其特征是：所述第一步中的球磨所选用的球磨罐材质为玛瑙或尼龙或聚氨酯，球磨介质为氧化锆球，磨球直径为5～20mm，球料比的范围为1.5:1～4:1，球磨的转速为100～150r/min，球磨时间为5～12h。

6.根据权利要求1所述的制备ITO靶材的方法，其特征是：所述第二步中的抽滤成型设备包括上模（7）、下模（4）、密封盖（6）和微孔模具（11），所述下模（4）的底部设有阀门B（5），在下模（4）的上部设有上模（7），在上模（7）的顶部设有密封盖（6）形成一密闭的腔体，在密闭的腔体的中部设有微孔模具（11）使上模（7）与微孔模具（11）之间形成上工作腔，所述上工作腔通过管路连接真空泵A（2），在真空泵A（2）与上工作腔之间的管路上设有阀门A（1），其中下模（4）通过管路连接真空泵B（10），在真空泵B（10）与下模（4）之间的管路上连接有真空计（8）。

7.根据权利要求6所述的制备ITO靶材的方法，其特征是：所述下模（4）与真空泵B（10）之间设有缓冲罐（12），在下模（4）与缓冲罐（12）之间的管路上设有真空计（8）。

8.根据权利要求6所述的制备ITO靶材的方法，其特征是：所述微孔模具（11）的材质为树脂或石膏或玻璃或复合材料。