[发明专利]相对距离测量装置及方法

权利要求书

1.一种相对距离测量装置，测量一待测对象与该测量装置之间的相对距离，其特征在于，包括：

参考平面，所述参考平面具有上表面及与上表面相对的下表面；

至少一个测量探针，所述测量探针布置在参考平面的上表面，所述测量探针高出参考平面上表面的高度已知；

参考探针，所述参考探针布置在参考平面的上表面，参考探针的高度高于测量探针；

电源，所述电源的一电极与所述测量探针电连接，电源的另一电极与参考探针电连接；

伺服电机，所述伺服电机驱动待测对象在竖直方向运动；及

控制器，所述控制器接收并记录所述测量探针与待测对象接触时伺服电机的反馈值，根据伺服电机的反馈值判断待测对象与该测量装置之间的相对距离；

其中，所述伺服电机驱动待测对象下降，参考平面上的参考探针率先与待测对象接触，伺服电机驱动待测对象继续下降，所述测量探针与待测对象接触，控制器接收并记录此时伺服电机反馈的一反馈值。

2.根据权利要求1所述的相对距离测量装置，其特征在于，所述待测对象为一导体或待测对象朝向参考平面的一面分布有导电层。

3.根据权利要求1所述的相对距离测量装置，其特征在于，所述伺服电机的反馈值与待测对象的高度值相对应。

4.根据权利要求1所述的相对距离测量装置，其特征在于，所述参考平面为圆环状或者圆盘状。

5.根据权利要求1所述的相对距离测量装置，其特征在于，所述测量探针和参考探针均为金属弹簧探针。

6.根据权利要求1所述的相对距离测量装置，其特征在于，还进一步包括数个可调节支柱，所述数个可调节支柱布置在参考平面的下表面，数个可调节支柱调节参考平面的水平度。

7.一种使用权利要求1至6中任一项所述的相对距离测量装置测量一待测对象与该测量装置之间的相对距离的方法，其特征在于，包括如下步骤：

伺服电机驱动待测对象下降，参考平面上的参考探针率先与待测对象接触；

伺服电机驱动待测对象继续下降，参考平面上的第一个测量探针与待测对象接触，伺服电机停止驱动待测对象向下运动，控制器接收并记录此时伺服电机反馈的第一反馈值；

获得第一反馈值与控制器接收并记录第一反馈值时待测对象与参考平面之间的相对距离的对应关系，根据该对应关系，计算出与伺服电机任一反馈值相对应的待测对象与参考平面之间的相对距离。

8.根据权利要求7所述的测量一待测对象与该测量装置之间的相对距离的方法，其特征在于，控制器接收并记录第一反馈值时待测对象与参考平面之间的相对距离也就是测量探针高出参考平面上表面的高度值。

9.根据权利要求7所述的测量一待测对象与该测量装置之间的相对距离的方法，其特征在于，在伺服电机开始工作之前，调整待测对象的水平度，使待测对象的水平度符合要求。