[发明专利]对称的气相沉积设备的反应腔体

权利要求书

1.一种对称的气相沉积设备的反应腔体，反应腔体设有反应气体输入体(1)和尾气排气口(26)，反应腔体内设有反应气体通道(12)，腔体外壳(2)和反应腔体内壁(3)之间设有腔壁冷却腔(6)，腔壁冷却腔(6)设有腔壁冷却液入口(4)和腔壁冷却液出口(5)，载片盘(7)设于载片盘支撑(11)上，载片盘支撑(11)经载片盘支撑旋转轴承(18)安装于腔体底座(27)，加热器(9)经加热器支撑(10)安装于载片盘(7)的下方，驱动磁流体(19)和磁流体旋转轴(20)以及传动轮(21)安装于反应腔体的一侧面，经驱动轮(17)与载片盘支撑旋转轴承(18)连接驱动载片盘支撑(11)旋转，其特征在于所述尾气排气口(26)设置在腔体底座(27)的中心位置，腔体底座(27)中间设有环形气体缓冲腔(15)与气腔(25)，气腔(25)周身分别设置下底座冷却腔(28)和上底座冷却腔(29)，下底座冷却腔(28)与上底座冷却腔(29)互相连通，腔体底座(27)设有环形通道(13)，反应气体通道(12)经过环形通道(13)、环形气体缓冲腔(15)连接腔体底座(27)的气腔(25)，尾气排气口(26)与气腔(25)相连，环形气体缓冲腔(15)内设有圆周均匀分布的穿过冷却腔(24)并连接气腔(25)的通道(16)，腔体底座(27)设有冷却液进口(22)和冷却液出口(23)。

2.根据权利要求1所述的对称的气相沉积设备的反应腔体，其特征在于所述腔壁冷却腔(6)、腔体上底座冷却腔(29)、下底座冷却腔(28)还设置有冷却液沿之流动的冷却液流道槽。

3.根据权利要求1所述的对称的气相沉积设备的反应腔体，其特征在于所述尾气排气口(26)处于反应气体输入体(1)、反应气体通道(12)、环形气体缓冲腔(15)、气腔(25)的中心对称位置，保持气体从进入到流出的对称特性。

4.根据权利要求1所述的对称的气相沉积设备的反应腔体，其特征在于所述腔体底座(27)的侧面安装驱动磁流体旋转轴(20)，该旋转轴(20)经传动轮(21)传导到驱动轮(17)从而驱动载片盘支撑(11)旋转，驱动磁流体(19)为动密封。

5.根据权利要求1所述的对称的气相沉积设备的反应腔体，其特征在于所述加热器(9)为一个恒温平台与载片盘直接接触。