[发明专利]玻璃减薄设备及玻璃减薄方法

说明书

技术领域

本发明涉及玻璃减薄技术领域，特别是涉及一种玻璃减薄设备及玻璃减薄法。

背景技术

随着便携式电子器件的发展，手机、平板等便携式电子器件越来越纤细化及薄型化，因此需要制造较薄的玻璃基板。

为了制造较薄的玻璃基板，目前的采用的方法是浸泡式减薄法。用浸泡式减薄法减薄玻璃是将玻璃减薄液放入玻璃减薄设备的反应槽中，然后将玻璃放入玻璃减薄液中放置一定时间，使玻璃减薄液与玻璃反应，实现玻璃减薄。

目前的浸泡式减薄法中，反应产物会悬浮于玻璃减薄液中，然后再粘附在玻璃上，造成不良品；并且，这种方法容易造成蚀刻不均，导致进行减薄后还需要进行抛光处理，提高了制备成本。

发明内容

基于此，有必要提供一种玻璃减薄设备，以用于减薄玻璃时能够避免浸泡式减薄法中的反应产物粘附于玻璃上及刻蚀不均匀的问题。

进一步，提供一种玻璃减薄方法。

一种玻璃减薄设备，包括箱体和设置于所述箱体中的喷淋装置，所述箱体中设有依次排列的第一淋洗槽、第一刻蚀槽、第二刻蚀槽、第三刻蚀槽、第二淋洗槽、第三淋洗槽、第四淋洗槽和干燥槽，所述喷淋装置包括分别位于所述第一淋洗槽、第一刻蚀槽、第二刻蚀槽、第三刻蚀槽、第二淋洗槽、第三淋洗槽和第四淋洗槽的槽底上方的第一喷淋管、第二喷淋管、第三喷淋管、第四喷淋管、第五喷淋管、第六喷淋管和第七喷淋管。

在其中一个实施例中，所述第一淋洗槽上设置有可转动的第一盖板，所述第一刻蚀槽上设置有可转动的第二盖板，所述第二刻蚀槽上设置有可转动的第三盖板，所述第三刻蚀槽上设置有可转动的第四盖板，所述第二淋洗槽上设置有可转动的第五盖板，所述第三淋洗槽上设置有可转动的第六盖板，所述第四淋洗槽上设置有可转动的第七盖板，所述第一盖板、第二盖板、第三盖板、第四盖板、第五盖板、第六盖板和第七盖板可转动至某一方向而分别密封所述第一淋洗槽、第一刻蚀槽、第二刻蚀槽、第三刻蚀槽、第二淋洗槽、第三淋洗槽和第四淋洗槽。

在其中一个实施例中，所述第一喷淋管、第二喷淋管、第三喷淋管、第四喷淋管、第五喷淋管、第六喷淋管和第七喷淋管分别设置于所述第一盖板、第二盖板、第三盖板、第四盖板、第五盖板、第六盖板和第七盖板上。

在其中一个实施例中，所述第一喷淋管、第二喷淋管、第三喷淋管、第四喷淋管、第五喷淋管、第六喷淋管和第七喷淋管上均设置有多个伞形喷咀。

在其中一个实施例中，所述第一喷淋管、第二喷淋管、第三喷淋管、第四喷淋管、第五喷淋管、第六喷淋管和第七喷淋管上均设置有压力调节阀和压力表。

在其中一个实施例中，还包括设置于所述箱体中的机械臂，所述机械臂用于将待减薄玻璃放入第一淋洗槽，并从所述第一淋洗槽取出，依次放入所述第一刻蚀槽、第二刻蚀槽、第三刻蚀槽、第二淋洗槽、第三淋洗槽、第四淋洗槽和干燥槽中。

在其中一个实施例中，所述箱体上还设有第一储液槽、第二储液槽、第三储液槽、第四储液槽、第五储液槽、第六储液槽和第七储液槽，所述第一储液槽与所述第一淋洗槽连通，所述第二储液槽与所述第一刻蚀槽连通，所述第三储液槽与所述第二刻蚀槽连通，所述第四储液槽与所述第三刻蚀槽连通，所述第五储液槽与所述第二淋洗槽连通，所述第六储液槽与所述第三淋洗槽连通，所述第七储液槽与所述第四淋洗槽连通。

一种玻璃减薄方法，包括如下步骤：

将待减薄玻璃放入上述玻璃减薄设备的第一淋洗槽中，通过所述第一喷淋管喷淋第一洗液对所述待减薄玻璃进行一次淋洗；

将经过一次淋洗的所述待减薄玻璃从所述第一淋洗槽中取出放入所述第一刻蚀槽中，通过所述第二喷淋管喷淋第一刻蚀液对所述待减薄玻璃进行一次刻蚀；

将经过一次刻蚀的所述待减薄玻璃从所述第一刻蚀槽中取出放入所述第二刻蚀槽中，通过所述第三喷淋管喷淋第二刻蚀液对所述待减薄玻璃进行二次刻蚀；

将经过二次刻蚀的所述待减薄玻璃从所述第二刻蚀槽中取出放入所述第三刻蚀槽中，通过所述第四喷淋管喷淋第三刻蚀液对所述待减薄玻璃进行三次刻蚀；

将经过三次刻蚀的所述待减薄玻璃从所述第三刻蚀槽中取出放入所述第二淋洗槽中，通过所述第五喷淋管喷淋第二洗液对所述待减薄玻璃进行二次淋洗；

将经过二次淋洗的所述待减薄玻璃从所述第二淋洗槽中取出放入所述第三淋洗槽中，通过所述第六喷淋管喷淋第三洗液对所述待减薄玻璃进行三次淋洗；

将经过三次淋洗的所述待减薄玻璃从所述第三淋洗槽中取出放入所述第四淋洗槽中，通过所述第七喷淋管喷淋第四洗液对所述待减薄玻璃进行四次淋洗；以及