[发明专利]带有涂覆有原子层沉积的输入端口的集成参考真空压力传感器

权利要求书

1.一种用于制造压力传感器的方法，该方法包括：

形成与基层（122）接触的应力隔离构件（110），其中应力隔离构件（110）和基层（122）具有通道（108），该通道形成为穿过基层（122）和应力隔离构件（110）；

制造传感器裸芯（106），其中传感器裸芯（106）包括薄膜（105），该薄膜具有形成在其上的感测电路；

将传感器裸芯（106）安装到应力隔离构件（110），其中薄膜（105）的第一侧被暴露给通道（108）的开口；

固定应力隔离构件（110）、基层（122）和传感器裸芯（106）到具有输入端口（102）的壳体（104）内，其中通道（108）在壳体（104）内被定位成使得进入输入端口（102）的压力介质也进入通道（108）；

用原子层沉积（126）涂覆应力隔离构件（110）和基层（122）的被暴露给输入端口（102）或通道（108）的表面；

电连接该感测电路到外部系统；以及

在具有已知压力的环境内密封传感器裸芯（106）的第二侧，其中第二侧被气密地与通道（108）的所述开口隔离开。

2.一种压力传感器，该传感器包括：

包括输入端口（102）的壳体（104），该输入端口被构造成在壳体（104）被放置在包含介质的环境内时允许该介质进入壳体（104）的内部；

牢固地安装在壳体（104）内的基层（122）；

安装到基层（122）的应力隔离构件（110），其中通道（108）从输入端口（102）的一端延伸穿过基层（122）和应力隔离构件（110），其中至少一个迹（111）被嵌入在应力隔离构件（110）内；

结合到应力隔离构件（110）的传感器裸芯（106），传感器裸芯（106）包括薄膜（105），该薄膜具有形成在其上的感测电路（207），其中薄膜（105）的第一侧被暴露给在应力隔离构件（110）中的通道（108）的开口，而感测电路（207）被安装到薄膜（105）的被与应力隔离构件（110）内的通道（108）的所述开口气密地密封隔离开的第二侧；

延伸穿过所述传感器裸芯的至少一个通路，该通路电连接感测电路（207）到所述至少一个迹（111）；以及

气密地结合到应力隔离构件（110）的真空参考盖（120），真空参考盖（120）具有凹部（121），该凹部包含形成在其内的真空，其中传感器裸芯（106）被定位在该凹部（121）内并且感测电路（207）被暴露给所述真空。

3.如权利要求2所述的压力传感器，还包括原子层沉积（126）涂层，该涂层用原子层沉积（126）覆盖了所述应力隔离构件（110）和所述基层（122）的暴露给所述输入端口（102）或所述通道（108）的表面。