[发明专利]晶圆清洗装置

权利要求书

1.一种晶圆清洗装置，包括清洗腔、清洗刷、滚轴和滚轮，清洗刷安装在清洗腔内，滚轴的第一端位于清洗腔内，滚轮安装在滚轴的第一端上，该滚轴的第二端延伸到清洗腔外并连接到驱动轮，驱动轮驱动滚轴转动，其特征在于，还包括检测装置，所述检测装置检测滚轴是否旋转，所述检测装置收发信号，检测装置根据所述信号的收发情况判断滚轴是否旋转。

2.根据权利要求1所述的晶圆清洗装置，其特征在于，所述滚轴伸出清洗腔外的部分上具有径向的贯穿孔，所述检测装置包括发射传感器、接收传感器和控制器，发射传感器和接收传感器相对布置在滚轴的两侧并与所述贯穿孔对齐，发射传感器发射信号，接收传感器与控制器相连接，接收传感器通过接收穿过贯穿孔的信号并将接收信息发送至控制器，滚轴每旋转一圈，接收传感器能够接收到2次信号，设定单位时间内滚轴旋转N圈，如果接收传感器在单位时间内能够接收到2N次信号，则表明滚轴一直在转动，如果单位时间内接收传感器一直能够接收到信号或者一直无法接收到信号，则认为滚轴停止转动，控制器输出报警信号。

3.根据权利要求2所述的晶圆清洗装置，其特征在于，所述发射传感器和接收传感器为光电式传感器，发射传感器发射光信号，接收传感器接收穿过贯穿孔的光信号，将光信号转换为电信号并发送至控制器。

4.根据权利要求1所述的晶圆清洗装置，其特征在于，所述检测装置包括传感器、检测体和控制器，检测体设置在滚轴伸出清洗腔外的部分上，传感器布置在滚轴的一侧并与所述检测体对齐，当检测体与传感器对准时，传感器能够检测到检测体，传感器与控制器相连接，滚轴每旋转一圈，传感器能够检测到一次检测体，设定单位时间内滚轴旋转N圈，如果传感器在单位时间内能够检测到N次检测体，则表明滚轴一直在转动，如果传感器在单位时间内一直能够检测到检测体或者一直无法检测到检测体，则认为滚轴停止转动，控制器输出报警信号。

5.根据权利要求4所述的晶圆清洗装置，其特征在于，所述传感器为光电式传感器，所述检测体发射光信号，当检测体与传感器对准时，传感器接收检测体发射的光信号，转换为电信号并提供至控制器。