[发明专利]有源矩阵有机发光二极管阵列基板及制作方法和显示装置有效
申请号: | 201410062448.6 | 申请日: | 2014-02-24 |
公开(公告)号: | CN103839973A | 公开(公告)日: | 2014-06-04 |
发明(设计)人: | 盖翠丽;宋丹娜;张保侠 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/32 | 分类号: | H01L27/32;H01L51/50;G09G3/32 |
代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人: | 杜秀科 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 有源 矩阵 有机 发光二极管 阵列 制作方法 显示装置 | ||
技术领域
本发明涉及显示技术领域,特别是涉及一种有源矩阵有机发光二极管阵列基板及其制作方法和一种显示装置。
背景技术
OLED(Organic Light-Emitting Diode,有机发光二极管,简称OLED)显示屏由于具有薄、轻、宽视角、主动发光、发光颜色连续可调、成本低、响应速度快、能耗小、驱动电压低、工作温度范围宽、生产工艺简单、发光效率高及可柔性显示等优点,已被列为极具发展前景的下一代显示技术。
OLED依据驱动方式的不同,可分为无源矩阵驱动(Passive Matrix,简称PM)PMOLED与有源矩阵驱动(Active Matrix,简称AM)AMOLED两种。其中,PMOLED以阴极、阳极构成矩阵状,以扫描方式点亮阵列中的像素,每个像素都是操作在短脉冲模式下,为瞬间高亮度发光,其结构简单,可以有效降低制造成本,但其驱动电压较高,不适合应用在大尺寸、高分辨率的显示面板中。AMOLED则是采用独立的薄膜晶体管(Thin Film Transistor,简称TFT)去控制每个像素,每个像素皆可以连续且独立的驱动发光,AMOLED的驱动电压较低,寿命较长,可应用于大尺寸平板显示,但其制作工艺较为复杂,成本相对较高。
AMOLED依据出光方式的不同可分为顶发射型(光从上基板射出)和底发射型(光从下基板射出)两种。图1为现有底发射型AMOLED阵列基板的一个像素单元在TFT处的截面结构示意图,包括:基板1、位于基板1之上的栅极22、覆盖栅极22的栅极绝缘层4,位于栅极绝缘层4之上并与栅极22位置相对的有源层5,位于有源层5之上且相对而置的源极6和漏极7,位于源极6和漏极7之上的第一绝缘层8,穿过第一绝缘层8的过孔9与漏极7连接的透明电极23。其中,栅极22的部分区域与漏极7位置相对并形成存储电容100。
底发射型AMOLED的阵列基板上设置有TFT和金属配线,这些结构阻挡了部分光线,成为影响像素开口率(开口率指像素可发光面积占像素面积的比率)的重要因素。尤其是,当前很多公司及研究单位为了改善因像素间差异性而导致的显示画面品质不均匀问题,纷纷提出了电路补偿方式的像素结构,其像素单元包含两个或者两个以上的TFT,这对于底发射型结构而言,TFT和金属配线占用的像素面积更多,像素开口率更小,所需发光强度也相应提高,因此势必造成显示装置的功耗增加,使用寿命缩短。因此,如何提高像素开口率已成为当前亟待解决的技术问题之一。
发明内容
本发明实施例提供了一种有源矩阵有机发光二极管阵列基板及其制作方法和一种显示装置,以提高阵列基板的像素开口率,提升显示装置的显示品质,降低显示装置的能耗并延长其使用寿命。
本发明实施例提供的有源矩阵有机发光二极管阵列基板,包括基板和位于基板上且阵列排布的多个像素单元,每个所述像素单元包括薄膜晶体管、第一透明电极和第二透明电极,其中:
所述第一透明电极位于基板之上且与所述薄膜晶体管的栅极电连接;所述第二透明电极与所述薄膜晶体管的漏极电连接,所述第一透明电极与第二透明电极位置相对。
在本发明技术方案中,不透光的栅极和漏极的面积可以设计的相对较小,具有高透过率的第一透明电极与第二透明电极位置相对且面积较大,两者之间形成存储电容,因此,相比于现有技术,像素开口率大大增加,包含该阵列基板的显示装置的显示品质提升,并且能耗较低,使用寿命延长。
优选的,所述第一透明电极与第二透明电极图形相同。第一透明电极的构图工艺和第二透明电极的构图工艺可以采用同一张掩模板,该方案可以在不增加掩模板数量的前提下增大像素的开口率,因此,大大节约了制造成本。
优选的,所述第一透明电极搭接于栅极的上表面。第一透明电极与栅极之间能够可靠地电连接,且第一透明电极的制作精度要求相对较低,因此能够进一步节约制造成本。
优选的,所述第一透明电极为所述像素单元的存储电容的底电极,所述第二透明电极为所述像素单元的像素电极且同时为所述像素单元的存储电容的顶电极。
优选的,所述薄膜晶体管上形成有第一绝缘层,所述第二透明电极通过第一绝缘层的过孔与所述薄膜晶体管的漏极电连接。
本发明实施例还提供了一种有源矩阵有机发光二极管阵列基板的制作方法,包括在基板上形成薄膜晶体管、第一透明电极和第二透明电极的步骤,具体包括:
在基板上形成所述薄膜晶体管栅极的图形;
在基板和栅极上形成与栅极电连接的第一透明电极的图形;
形成所述薄膜晶体管的有源层和源极、漏极的图形结构;
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的