[发明专利]图案形成装置及图案形成方法

权利要求书

1.一种图案形成装置，其特征在于，

具有：

第一保持单元，具有多个分别与橡皮布的下表面的局部抵接的局部支撑部，多个所述局部支撑部以一面上担载有图案形成材料的所述橡皮布的所述图案形成材料的担载面朝上的方式在下表面侧与所述橡皮布相抵接，从而将所述橡皮布支撑为水平姿势；

第二保持单元，将用于对所述图案形成材料进行图案成形的版或者要被转印图案的基板作为处理对象物，以使该处理对象物与被所述第一保持单元保持的所述橡皮布的上表面接近且相向的方式，保持该处理对象物；

托起构件，从所述橡皮布的下表面侧局部地托起所述橡皮布中央部的有效区域，来使所述有效区域与被所述第二保持单元保持的所述处理对象物相抵接，而且沿着所述橡皮布的下表面移动来使所述橡皮布的托起位置发生变化；

升降单元，能够使多个所述局部支撑部分别单独地升降。

2.根据权利要求1所述的图案形成装置，其特征在于，

在多个所述局部支撑部分别与所述橡皮布的下表面抵接的状态下，随着所述托起构件的移动，所述升降单元使多个所述局部支撑部依次下降。

3.根据权利要求2所述的图案形成装置，其特征在于，

多个所述局部支撑部沿着所述托起构件的移动方向排列，所述升降单元以沿着所述托起构件的移动方向的顺序使所述局部支撑部下降。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的图案形成装置，其特征在于，

所述托起构件将所述橡皮布的下表面的在一个轴方向上比所述有效区域的长度长的区域一同托起，

所述局部支撑部分别在将所述轴方向作为长度方向延伸设置的抵接面与所述橡皮布相抵接。

5.根据权利要求4所述的图案形成装置，其特征在于，

还具有：

支撑构件，具有支撑部和脚部，所述支撑部在所述轴方向上沿着所述托起构件延伸设置，该支撑部用两端部支撑所述托起构件且所述托起构件能够自由旋转，所述脚部从所述支撑部的所述轴方向上的中央部向下方延伸，

移动机构，使所述支撑构件沿着与所述轴方向相垂直的方向移动；

一对所述局部支撑部以沿着所述轴方向排列且彼此分离的方式配置，并且成对的所述局部支撑部沿着与所述轴方向相垂直的方向排列配置有多对，

所述支撑构件的所述脚部在成对的所述局部支撑部之间的空隙经过。

6.根据权利要求1至3中任一项所述的图案形成装置，其特征在于，

所述第一保持单元具有保持框，该保持框以使所述橡皮布的所述有效区域的下方开放的状态，保持所述橡皮布的所述有效区域的外侧的周缘部，

在所述橡皮布的被所述保持框保持的周缘部的内侧，多个所述局部支撑部抵接于所述橡皮布的下表面。

7.一种图案形成方法，其特征在于，

包括：

第一工序，以使一面上担载有图案形成材料的橡皮布的所述图案形成材料的担载面朝上的方式，使能够彼此独立地升降的多个局部支撑部分别与所述橡皮布的下表面的局部相抵接，从而将所述橡皮布支撑为水平姿势，

第二工序，将用于对所述图案形成材料进行图案成形的版或者要被转印图案的基板作为处理对象物，以使该处理对象物的下表面和所述橡皮布的所述担载面隔开规定的间隙接近的方式，相向配置所述处理对象物和所述橡皮布，

第三工序，使托起构件与所述橡皮布的下表面抵接，通过该托起构件托起所述橡皮布的局部，从而使该橡皮布与所述处理对象物相抵接，使所述托起构件沿着所述橡皮布的下表面移动；

在所述第三工序中，随着所述托起构件移动，使所述局部支撑部依次下降来与所述橡皮布分离。

8.根据权利要求7所述的图案形成方法，其特征在于，

在所述第一工序中，多个所述局部支撑部沿着所述托起构件的移动方向排列，在所述第三工序中，以沿着所述托起构件的移动方向的顺序使所述局部支撑部下降。

9.根据权利要求7或8所述的图案形成方法，其特征在于，

在所述第三工序中，在所述托起构件与所述橡皮布相抵接的抵接位置和一个所述局部支撑部与所述橡皮布相抵接的抵接位置之间的距离小于规定值时，使该局部支撑部下降。