[发明专利]用于热处理的快速升降温炉体

权利要求书

1.一种快速升降温炉体，其包围用于容纳多个基板并对所述基板进行处理的工艺管，其特征在于，所述快速升降温炉体包括：

筒状的保温层，其包围所述工艺管；

加热元件，配置于所述保温层内周面；以及

冷却单元，其包括：位于所述保温层中的用于流通冷却气体的一个螺旋状风道；以及形成于所述保温层内周面、与所述螺旋状风道连通并沿所述螺旋状风道高度方向分布的多个风孔，所述风孔用于向所述保温层和所述工艺管之间的空间喷出所述冷却气体。

2.根据权利要求1所述的快速升降温炉体，其特征在于，所述快速升降温炉体还包括外壁，所述螺旋状风道形成于所述保温层的外周面，所述外壁覆盖所述保温层的外周面。

3.根据权利要求2所述的快速升降温炉体，其特征在于，通过在所述保温层外周面上形成螺旋状槽并由所述外壁覆盖所述螺旋状槽，以形成所述螺旋状风道。

4.根据权利要求1所述的快速升降温炉体，其特征在于，所述风孔的位置避开所述加热元件。

5.根据权利要求1所述的快速升降温炉体，其特征在于，所述加热元件通过绝缘支撑件固定配置于所述保温层内周面，所述绝缘支撑件具有加热元件承载部，所述风孔的位置避开所述加热元件承载部。

6.根据权利要求1所述的快速升降温炉体，其特征在于，所述多个风孔在所述螺旋状风道的每一圈的周向上间隔均匀分布。

7.根据权利要求1所述的快速升降温炉体，其特征在于，所述多个风孔在所述螺旋状风道的高度方向上为平行设置。

8.根据权利要求1所述的快速升降温炉体，其特征在于，所述风孔与所述快速升降温炉体的径向之间具有夹角。

9.根据权利要求1所述的快速升降温炉体，其特征在于，所述快速升降温炉体还包括：

冷却气体引入部分，其设置于所述螺旋状风道的下端；以及

冷却气体排出部分，其设置于所述快速升降温炉体顶部的保温盖中。