[发明专利]桥接通讯模块及方法

说明书

技术领域

本发明涉及半导体设备通信技术领域，特别涉及一种用于半导体工厂设备分布式管理系统和设备控制系统的桥接通讯模块及方法。

背景技术

半导体工厂内设置的半导体设备数量众多，并且这些半导体设备在工厂里的分布也比较松散，如果工厂中未配置足够多的程师去现场管理每一台设备，可能无法及时获取和管理每一台设备的工作状态，所以，现有技术中提供一种分布式管理系统来辅助半导体工厂中的工程师来管理更多的同类设备。分布式管理系统通常包括可视化的客户端和服务器。服务器与设备控制系统相连。设备控制系统采集各半导体设备的状态数据和工艺数据并输出至分布式管理系统的服务器，由该服务器发送至远程客户端。此外，设备控制系统接收分布式管理系统的远程终端发送的指令并根据该指令操作各半导体设备完成相应动作。远程终端接收服务端发送的来自设备控制系统的设备状态数据和工艺数据并显示在可视化的界面上，可供使用者根据该设备状态数据发送指令，或根据工艺数据进行分析处理。

然而，由于设备控制系统采用的控制软件和分布式管理系统采用的管理软件是两种不同类型的软件，造成分布式管理系统和设备控制系统之间无法正常通讯，因此有必要解决这一分布式管理系统和设备控制系统间信息交互的问题。

发明内容

本发明的主要目的旨在提供一种解决分布式管理系统和设备控制系统之间通讯耦合问题的装置和方法。

为达成上述目的，本发明提供一种桥接通讯模块，用于在半导体设备的分布式管理系统和设备控制系统之间建立通讯以进行数据传输，其中所述分布式管理系统包括客户端和服务端，所述设备控制系统用于控制所述半导体设备。所述桥接通讯模块包括配置子模块和通讯子模块。其中，配置子模块用于储存一配置文件，该配置文件记录用于在所述分布式管理系统与所述桥接通讯模块之间建立通讯的第一通讯信息和用于在所述设备管理系统与所述桥接通讯模块之间建立通讯的第二通讯信息；通讯子模块与所述配置子模块相连，其根据所述配置文件的第一通讯信息与所述分布式管理建立连接，根据所述配置文件的第二通讯信息与所述设备控制系统建立连接，以在所述分布式管理系统和所述设备控制系统之间进行数据传输。

优选地，所述第一通讯信息包括用于在所述分布式远程管理系统和所述桥接通讯模块之间进行数据传输的第一通讯地址、第一通讯端口和第一通讯协议；所述第二通讯信息包括用于在所述设备控制系统和所述桥接通讯模块之间进行数据传输的第二通讯地址、第二通讯端口和第二通讯协议。

优选地，所述桥接通讯模块基于WCF技术与所述分布式管理系统建立连接，所述桥接通讯模块基于.Net远程处理技术与所述设备控制系统建立连接。

优选地，所述第一通讯协议和第二通讯协议为以太网协议，所述分布式管理系统的客户端和服务端之间通过AMQP协议通讯。

优选地，所述配置文件为XML格式。

优选地，所述通讯子模块在所述桥接通讯模块和所述分布式管理系统之间，以及所述桥接通讯模块和所述设备控制系统之间建立json数据格式的数据通道以进行所述数据的传输。

优选地，所述桥接通讯模块和所述分布式管理系统之间为异步通讯，所述桥接通讯模块和所述设备控制系统之间为异步通讯。

本发明还提供了一种桥接通讯方法，用于在半导体工厂设备的远程管理系统和设备控制系统之间建立通讯以进行数据传输，其中所述分布式管理系统包括客户端和服务端，所述设备控制系统用于控制所述半导体设备。所述桥接通讯方法包括读取一配置文件，所述配置文件存储于一桥接通讯模块中，其记录用于在所述分布式管理系统与所述桥接通讯模块之间建立通讯的第一通讯信息和用于在所述设备管理系统与所述桥接通讯模块之间建立通讯的第二通讯信息；根据所述配置文件的第一通讯信息与所述分布式管理系统建立连接，根据所述配置文件的第二通讯信息与所述设备控制系统建立连接；以及通过所述桥接通讯模块在所述分布式管理系统和所述设备控制系统之间进行数据传输。

优选地，所述第一通讯信息包括用于在所述分布式远程管理系统和所述桥接通讯模块之间进行数据传输的第一通讯地址、第一通讯端口和第一通讯协议；所述第二通讯信息包括用于在所述设备控制系统和所述桥接通讯模块之间进行数据传输的第二通讯地址、第二通讯端口和第二通讯协议。

优选地，所述桥接通讯模块基于WCF技术与所述分布式管理系统建立连接，所述桥接通讯模块基于.Net远程处理技术与所述设备控制系统建立连接。