[发明专利]层叠部件的制造方法

说明书

本发明提供一种制造层叠部件的制造方法，该制造方法能够得到在薄的树脂膜上具备功能层的层叠部件，并且既考虑到该制造过程中的操作性，又抑制了对功能层品质的影响。一种层叠部件的制造方法，是将卷绕成筒状的长条的基材膜沿长边方向导出并进行成膜处理，根据需要进行图案形成处理，在基材膜上形成功能层而制造层叠部件的方法，上述基材膜具备在支承材料上涂布聚酰胺酸溶液并使其酰亚胺化而成的聚酰亚胺层，在该聚酰亚胺层侧形成功能层后，利用聚酰亚胺层与支承材料的界面分离除去支承材料，将基材膜薄壁化。

技术领域

本发明涉及层叠部件的制造方法，详细而言涉及将长条的基材膜沿长边方向导出并形成规定的功能层后，分离除去基材膜的一部分使其薄壁化而得到层叠部件这样的层叠部件的制造方法。

背景技术

例如，液晶显示装置、有机EL显示装置等显示装置用于以电视机这种大型显示器，手机、个人计算机、智能手机等小型显示器为代表的各种显示器用途。其中，例如，有机EL显示装置是在玻璃基板上形成薄膜晶体管（以下，TFT），再依次形成电极、发光层、电极，最后用其它玻璃基板、多层薄膜等气密密封而制成。

在这些显示装置中，通过将玻璃基板替换成树脂基板，与以往相比能够实现薄型、轻型及挠性化，能够进一步拓宽显示装置的用途、改型。然而，通常树脂与玻璃相比尺寸稳定性、透明性、耐热性、耐湿性、阻气性等差，所以目前进行了各种用于改善这些特性的研究。

例如，在专利文献1中提出了涉及作为挠性显示器用树脂基板有用的聚酰亚胺及其前体的发明，公开了使用环己基苯基四羧酸等这样的含有脂环式结构的四羧酸类并与各种二胺反应而成的聚酰亚胺的透明性优异。另外，在非专利文献1和2中，提出了在支承基板中采用透明性高的树脂材料的有机EL显示装置。

另一方面，通过使用挠性优异的树脂基板，能够用辊对辊方式进行制造。例如，在专利文献2中，记载了在有机EL显示装置的制造中，使用在聚碳酸酯等这种透明的塑料基板的两面具有阻隔层的筒状膜基板，用辊对辊方式传送，利用溅射装置在筒状膜基板上形成薄膜晶体管的活性层的技术（参照图6）。通过使用这样的长条的树脂基材，能够连续作业，可以期待显示装置的生产率提高。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2008-231327号公报

专利文献2：日本特开2011-181590号公报

非专利文献

非专利文献1：S.An et.al.,“2.8-inch WQVGA Flexible AMOLED Using HighPerformance Low Temperature Polysilicon TFT on Plastic Substrates”,SID2010DIGEST,p706（2010）

非专利文献2：Oishi et.al.,“Transparent PI for flexible display”，IDW‘11FLX2/FMC4-1

发明内容

如上所述，通过将显示装置中使用的玻璃基板替换成树脂基板（树脂膜），能够实现薄型、轻型及挠性化。特别是以智能手机为代表的移动设备在薄型·轻型化方面的开发竞争激烈，对薄型·轻型化的需求极强。然而，想要使树脂基板的厚度变薄必须充分考虑操作性，尤其是以辊对辊的方式传送长条的树脂膜时，如果膜极薄则在卷绕时等其拉伸成为问题，根据情况有时膜可能发生褶皱、或者发生破损。另外，即便膜本身不发生褶皱、破损等的情况下，TFT、电极、发光层之类的在膜上形成的各种功能层也可能因膜的伸缩在制造过程中品质受到影响。

因此，本发明是鉴于这些问题而进行的，其目的在于，提供一种制造层叠部件的方法，该方法能够得到在薄的树脂膜上具备功能层的层叠部件，并且既考虑到其制造过程中的操作性，又抑制了对功能层品质的影响。