[发明专利]校准椭偏测量中应力元件带来的误差影响的方法

权利要求书

1.一种校准椭偏测量中应力元件带来的误差影响的方法，其特征在于，包括如下步骤：

i)找出所述应力元件的本征坐标系；

ii)测量出所述应力元件在所述本征坐标系下的Mueller矩阵；

iii)将所述应力元件装调到目标椭偏仪中。

2.如权利要求1所述的校准椭偏测量中应力元件带来的误差影响的方法，其特征在于，所述步骤i)包括如下子步骤：

1)将样品和应力元件分别装载到实验椭偏仪中，并将应力元件布置成位于样品和实验椭偏仪的转动部件之间且可旋转；

2)控制应力元件旋转，每旋转一个角度后固定，然后通过测量获取经过样品反射后的光强信号；

3)对所获取的光强信号进行傅立叶分析，计算得到傅立叶系数；

4)根据傅立叶系数在实验椭偏仪的特定系统参数下的特征值来判定此时应力元件的本征坐标系与实验椭偏仪的系统坐标系是否一致，如一致则进行下一步骤，如不一致则回到步骤2)；

5)标定应力元件的本征坐标系。

3.如权利要求2所述的校准椭偏测量中应力元件带来的误差影响的方法，其特征在于，在所述子步骤1)中，所述应力元件被装载在所述实验椭偏仪中的可旋转部件上从而实现可旋转。

4.如权利要求3所述的校准椭偏测量中应力元件带来的误差影响的方法，其特征在于，所述可旋转部件是驱动电机。

5.如权利要求1至4任一项所述的校准椭偏测量中应力元件带来的误差影响的方法，其特征在于，所述应力元件是带有双折射的元件。

6.如权利要求5所述的校准椭偏测量中应力元件带来的误差影响的方法，其特征在于，所述带有双折射的元件是聚焦透镜或滤波元件。

7.如权利要求2至4任一项所述的校准椭偏测量中应力元件带来的误差影响的方法，其特征在于，所述实验椭偏仪的转动部件是起偏器、验偏器或补偿器。

8.如权利要求7所述的校准椭偏测量中应力元件带来的误差影响的方法，其特征在于，在所述子步骤4)中，当所述转动部件是起偏器且测量的方位角A＝0°时，或者当所述转动部件是验偏器且测量的方位角P＝0°时，如果计算得到的傅立叶系数满足α₂≈1，β₂≈0，则判定此时所述应力元件的本征坐标系与所述实验椭偏仪的系统坐标系一致。

9.如权利要求7所述的校准椭偏测量中应力元件带来的误差影响的方法，其特征在于，在所述子步骤4)中，当所述转动部件是补偿器，并且当测量的方位角P＝0°和A＝0°时，如果计算得到的傅立叶系数满足β₄≈0，则判定此时所述应力元件的本征坐标系与所述实验椭偏仪的系统坐标系一致。

10.如权利要求1至4任一项所述的校准椭偏测量中应力元件带来的误差影响的方法，其特征在于，在所述步骤ii)中，将所述应力元件当作透射样品在直通光路型椭偏仪中进行所述测量。

11.如权利要求1至4任一项所述的校准椭偏测量中应力元件带来的误差影响的方法，其特征在于，在所述步骤iii)中，将所述应力元件装调成其本征坐标系与所述目标椭偏仪的系统坐标系成一夹角C，该夹角C与所述目标椭偏仪的转动部件以及所述应力元件在所述目标椭偏仪中的位置有关。

12.如权利要求11所述的校准椭偏测量中应力元件带来的误差影响的方法，其特征在于，在所述步骤iii)中，当所述目标椭偏仪的转动部件为验偏器时，装调所述目标椭偏仪中的样品与起偏器之间的所述应力元件使其本征坐标系的方向与起偏器的方位角P一致，即C＝P；和/或装调所述目标椭偏仪中的样品与验偏器之间的所述应力元件使其本征坐标系方向与所述目标椭偏仪的系统坐标系一致，即C＝0。

13.如权利要求11所述的校准椭偏测量中应力元件带来的误差影响的方法，其特征在于，在所述步骤iii)中，当所述目标椭偏仪的转动部件为起偏器时，装调所述目标椭偏仪中的样品与验偏器之间的所述应力元件使其本征坐标系的方向与验偏器的方位角A一致，即C＝A；和/或装调所述目标椭偏仪中的样品与起偏器之间的所述应力元件使其本征坐标系方向与所述目标椭偏仪的系统坐标系一致，即C＝0。