[发明专利]太赫兹波检测装置、拍摄装置、成像装置以及计测装置

说明书

技术领域

本发明涉及太赫兹波检测装置、拍摄装置、成像装置以及计测装置。

背景技术

近年来，具有100GHz以上30THz以下的频率的电磁波亦即太赫兹波备受关注。太赫兹波例如能够用于成像、分光计测等各种计测、无损检测等。

作为对上述的太赫兹波进行检测的检测装置，如专利文献1所示，公知有具备了电阻体的电阻值因温度而变化的辐射热计测器的检测装置。具体而言，在专利文献1中记载有如下内容，即，若将太赫兹波照射至天线元件，则天线元件所接收的电力被供给至辐射热计测器（检测元件）而使辐射热计测器的电阻值变化，辐射热计测器两端的电压根据施加电流而发生变化，从而将太赫兹波的接收电力作为辐射热计测器的检测电压输出。

专利文献1：日本特开2009-141661号公报

然而，在专利文献1的太赫兹波检测装置中，为了对太赫兹波进行检测而必须对辐射热计测器施加电流，会由此而产生噪声，导致太赫兹波的检测灵敏度降低。

发明内容

本发明的一些方式的目的之一在于提供一种抑制了由电噪声导致的检测灵敏度降低的太赫兹波检测装置。另外，本发明的一些方式的目的之一在于提供包含上述太赫兹波检测装置的拍摄装置、成像装置以及计测装置。

本发明所涉及的太赫兹波检测装置包括：吸收部，其吸收太赫兹波并产生热；和转换部，其将由上述吸收部产生的热转换成电信号，上述吸收部具有：电介质层；金属构造体，其被设置于上述电介质层的一侧的面，并且相互分离以规定长度的周期排列有多个；以及金属层，其被设置于上述电介质层的另一侧的面，上述金属构造体的上述规定长度的周期小于被上述吸收部吸收的上述太赫兹波的波长。

根据上述的太赫兹波检测装置，能够抑制由电噪声导致的检测灵敏度降低。

在本发明所涉及的太赫兹波检测装置中，上述金属构造体的薄层电阻以及上述金属层的薄层电阻也可以为10Ω/□以下。

根据上述的太赫兹波检测装置，能够将太赫兹波检测装置金属构造体的与电介质层接触的接触面以及金属层的与电介质层接触的接触面的太赫兹波的反射率设为90％以上（详细后述）。因此，能够在金属构造体与金属层之间可靠地使太赫兹波进行多重反射而使太赫兹波产生共振现象。

在本发明所涉及的太赫兹波检测装置中，上述转换部也可以为热电传感器。

根据上述的太赫兹波检测装置，能够抑制由电噪声导致的检测灵敏度降低。

本发明所涉及的太赫兹波检测装置包括：吸收部，其吸收太赫兹波并产生热，并且包括超材料；和转换部，其将由上述吸收部产生的热转换成电信号。

根据上述的太赫兹波检测装置，能够抑制由电噪声导致的检测灵敏度降低。

本发明所涉及的拍摄装置包括：太赫兹波产生部，其产生太赫兹波；本发明所涉及的太赫兹波检测装置，上述太赫兹波检测装置对从上述太赫兹波产生部射出并透过了对象物的上述太赫兹波、或者从上述太赫兹波产生部射出并被对象物反射了的上述太赫兹波进行检测；以及存储部，其对上述太赫兹波检测装置的检测结果进行存储。

根据上述的拍摄装置，包括本发明所涉及的太赫兹波检测装置，因此能够抑制由电噪声导致的检测灵敏度降低。

本发明所涉及的成像装置包括：太赫兹波产生部，其产生太赫兹波；本发明所涉及的太赫兹波检测装置，上述太赫兹波检测装置对从上述太赫兹波产生部射出并透过了对象物的上述太赫兹波、或者从上述太赫兹波产生部射出并被对象物反射了的上述太赫兹波进行检测；以及图像形成部，其基于上述太赫兹波检测装置的检测结果，来生成上述对象物的图像。

根据上述的成像装置，包括本发明所涉及的太赫兹波检测装置，因此能够抑制由电噪声导致的检测灵敏度降低。

本发明所涉及的计测装置包括：太赫兹波产生部，其产生太赫兹波；本发明所涉及的太赫兹波检测装置，上述太赫兹波检测装置对从上述太赫兹波产生部射出并透过了对象物的上述太赫兹波、或者从上述太赫兹波产生部射出并被对象物反射了的上述太赫兹波进行检测；以及计测部，其基于上述太赫兹波检测装置的检测结果，对上述对象物进行计测。

根据上述的计测装置，包括本发明所涉及的太赫兹波检测装置，因此能够抑制由电噪声导致的检测灵敏度降低。

附图说明

图1是示意性地表示本实施方式所涉及的太赫兹波检测装置的剖视图。

图2是示意性地表示本实施方式所涉及的太赫兹波检测装置的俯视图。

图3是示意性地表示本实施方式所涉及的太赫兹波检测装置的俯视图。